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第四章 物理传感器1 张麒 上海大学 通信与信息工程学院 4.1 应变式电阻传感器基本概念 应变式电阻传感器(strain gauge) 利用导体和半导体材料的应变效应 把非电量的压力和位移等参数转换为电阻变化 导体的电阻方程式 按材料分类 金属电阻应变式传感器 半导体压阻传感器 4.1.1金属电阻应变式传感器 原理：金属应变效应 敏感元件：金属丝或金属箔等材料制成片状（电阻应变片） 贴在弹性元件或被测物体上 电阻应变效应 金属导体电阻的相对变化与轴向应变成正比 逐步求出电阻相对变化率 电阻变化实际上是体积变化造成的 常用金属电阻丝材料的灵敏度系数 金属电阻应变片 压应力式 张应力式 （应用更广）张力丝夹在薄纸中间制成应变片 丝式应变片 短接式应变片 箔式应变片 薄膜 绝缘底基 光刻 覆盖层、引出线 应变片的特性指标 灵敏系数 标称灵敏系数 横向效应、横向灵敏度 应变极限 最高工作频率 电阻值 室温、不受外力 温度特性 温度补偿 应变式传感器的医学应用 血压传感器 4.1.2 半导体压阻传感器 利用压阻效应半导体材料在机械应力的作用下，材料本身的电阻率发生较大变化 灵敏系数比金属应变片的大几十倍至一百多倍 压阻效应具有方向性 半导体应变片的压阻效应 电阻应变式传感器的测量电路 单臂电桥 差动式半桥 差动式全桥 非线性误差的讨论 以单臂工作为例 4.2 电容式传感器 4.2.1 基本原理 4.2.2 变面积型 4.2.3 变极距型 4.2.4 变介质型 4.2.5 电容式传感器测量电路 (1) 交流电桥 (2) 运算放大器 (1) 交流电桥 平衡状态 被测参数变化引起阻抗变化，输出电压为 复数表示 几种常用的交流电桥 桥臂比相角由零变为90度，电压灵敏度提高一倍 采用差动式电容传感器，再提高一倍 △Z正负的确定 电桥输出为交流信号，不能直接判断输入信号的极性 采用相敏检波电路 比较UO、US的相位是否相差180度 例：变压器式电容传感器测量电桥  变极距型 输出电压 4.2.5 电容式传感器测量电路 (1) 交流电桥 (2) 运算放大器 (2) 运算放大器 输出电压与极距d成线性关系 4.2.6 电容式传感器应用举例 (1) 电容式阵列触觉传感器 (2) 电容式心音传感器 (3) 电容式血压传感器 三层结构 上层：带有条形导电橡胶电极的硅橡胶层 中层：聚胺酯泡沫做介质 下层：条形铜电极 通过阵列的行、列扫描确定受力点的位置 运算放大器测量电路 实际情况： 被测电容 漏电阻 被选通单元的电极与相邻电极的影响(等效电容) 运算放大器输入阻抗 假设增益和输入阻抗无穷大 4.2.6 电容式传感器应用举例 (1) 电容式阵列触觉传感器 (2) 电容式心音传感器 (3) 电容式血压传感器 (2) 电容式心音传感器 心音 当心脏跳动时由于心肌收缩、瓣膜关闭和血液冲击的振动而产生的声音 心杂音 上心脏和邻近大血管内血液湍流和涡流所引起的振动音 心音和心杂音 可由听诊器放在胸壁的适当部位听到，也可通过心音图仪将其记录下来。 一个心动周期有四个心音 第一心音：心室肌收缩及房室瓣关闭时的振动，标志着心室收缩 70-100Hz 第二心音：由于大动脉管的半月瓣关闭而发出振动所致，标志着心室收缩完毕 100-150Hz 各波形的对应关系 结构原理 固定极板 动极板 第一、二心音和心杂音 用滤波器L、M、H加以区分(50/100/150Hz) 4.2.6 电容式传感器应用举例 (1) 电容式阵列触觉传感器 (2) 电容式心音传感器 (3) 电容式血压传感器 (3) 电容式血压传感器 结构图和等效电路 敏感电容、参比电容 测量电路 运算放大器 输出电压与血压P成线性关系 * 2011年上海大学“生物医学传感器与测量”课程 * 2011年上海大学“生物医学传感器与测量”课程 微小机械变化量 轴向应变、泊松比 尺寸效应 压阻效应 箔式：接触面积大，能更好地跟踪应变零件的变化；散热好；灵敏度好 50-200 n 桥臂比K桥臂系数 * * * 2011年上海大学“生物医学传感器与测量”课程