第五章离子束分析1--卢瑟福背散射分析.pptVIP

离子束分析概述 粒子与离子的概念差异 在微观领域，粒子是离子、电子、光子和亚核粒子等的总称 离子束分析的概念 总的来说：以离子束作为工具，通过它与物质相互作用来判断物质中元素组成及结构的一门学科 具体来说：利用具有一定能量的离子（如：质子、alpha离子及其它重离子）束去轰击样品，使样品中的元素发生电离、激发、发射和核反应以及自身的散射等过程，通过测量这些过程中所产生的射线的能量和强度来确定样品中元素的种类和含量的一门学科 为了对其概念有一深入的理解，大家来看离子束作用机制图 离子束分析的发展史(两个阶段) 一阶段（二十世纪60-70年代末）：基本方法的建立阶段 卢瑟福背散射分析（RBS）和弹性反冲分析（ERD） 粒子诱发X射线荧光分析（PIXE） 核反应分析（NRA） 次级粒子质谱（SIMS） 俄歇电子谱（AES）等 二阶段（二十世纪70年代末至今）：基本方法与新技术的结合阶段 低能离子束分析 超高真空离子束分析 IBA与STM（Scanning Tunneling Microscope）结合 质子显微镜 离子束分析方法的优缺点 优点 灵敏度高、分析时间短、不破坏样品、分析范围广和取样量少等优点，因此特别适用于痕量元素的分析 缺点 设备复杂、成本较高 卢瑟福背散射分析（RBS)概述 1 卢瑟福散射实验的思考 基本思想：用“炮弹”轰击研究“对象”,分析实验现象和结果，推知弹与靶有关信息。 2 卢瑟福散射理论指出： 在一定的实验条件下，散射 ? 粒子能量 Eb Eb (Mi ，Zi ，? ) ? ? 90? 散射?粒子能量差别大 背散射 ? 粒子能量和强度（数目）载有信息: 1） 样品成分 （ Zi,, Mi) 2） 各元素的含量 1909年，盖革（H. Geiger）和马斯顿（E. Marsden）观察到了α粒子散射实验现象 1911年，卢瑟福（Lord Ernest Rutherford）揭示了该现象，并确立了原子的核式结构模型 1957年，茹宾（Rubin）首次利用质子和氘束分析收集在滤膜上的烟尘粒子的成份 1967年，美国的测量员5号空间飞船发回月球表面土壤的背散射分析结果 卢瑟福背散射分析的原理 RBS是利用带电粒子与靶核间的大角度库仑散射的能谱和产额确定样品中元素的质量数、含量及深度分布。该分析中有三个基本点，即： 运动学因子—质量分析 背散射微分截面—含量分析 能损因子—深度分析 运动学因子—质量分析 运动学因子的定义： K=E1/E0， 其中E0是入射粒子能量，E1是散射粒子能量。 运动学因子K的表达式推导 {详细的推导参见王广厚--《粒子同固体物质相互作用》P102 } 实验室坐标系中，由能量守恒和动量守恒定律可得： 运动学因子K的变化曲线 背散射微分截面—含量分析 卢瑟福散射截面公式 （详细推导参见褚圣麟《原子物理学》P12或王广厚《粒子同固体物质的相互作用》P8和P105） 探测系统的计数与平均截面的关系： 能损因子—深度分析 背散射中入射离子与靶物质的作用过程机制图： 在入射路程中 ΔE与深度x的关系式比较复杂，在实际的应用中采用多种近似方法，（参见王广厚《粒子同固体物质的相互作用》 P111) 表面能近似—适用于薄靶或厚靶的近表面区 平均能量近似—适用于厚靶 能量损失比法—适用于薄靶，对厚靶也适用，但精度差 数值积分法—适用于薄靶和厚靶 这里只介绍表面能近似法和数值积分法 该方法是建立在表面能近似的基础上的，对于厚靶，进行切片处理，对每一个薄片采用表面能近似法，再进行积分，这样处理会提高精度， 例：2M alpha粒子入射到Si上，厚度8000埃 采用表面能近似误差为5% 采用数值积分法误差为0.2% 最佳实验条件的选取 由背散射的原理可导出最佳的实验条件： 质量分辨 含量分辨 深度分辨 质量分辨 令δ=π-θ， δ为一小量，且M2M1，则对K因子公式求M2的偏导数并化减得质量分辨率： 由上式得出要提高质量分辨率： 1. 增大入射离子能量 2. 增大入射离子质量 3. 增大散射角 4. 提高探测系统的分辨 含量分辨 由于散射粒子计数N正比于散射截面σ，故截面越大，计数越多，分辨越好。 轻基体上的重元素有很好的分辨。因为： 1）重元素的散射截面σ大； 2）基体元素和杂质元素的 K 值相差大，在能谱线上， 基体元素的谱线不会干扰杂质