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与 显微、测量、微细加工技术设备 ， ， Microscope Measurement Microfabrication Equipment 微纳米定位建模及控制器设计 犛犈犆犕 １ １ １ ２ 张栋，张玉林，李现明，魏强 （山东大学控制科学与工程学院，济南 ； ００６１ １． ２５ 泰山学院物理与电子科学系，山东泰安 ） ２． ２７１０２１ 摘要：为适应扫描电化学显微镜（ ）常规应用中 左右的微定位精度需求，同时降 ＳＥＣＭ １００ｎｍ 低其微定位控制器的成本，在分析 压电工作台运动定位数学模型的基础上，结合 ＳＥＣＭ ＳＥＣＭ 实际应用中的特点，将压电工作台数学模型进行了合理的简化，并在此基础上设计了算法简单且 易于实现的开环微定位控制器。以 型扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象 ＣＨＩ９００Ｂ 进行建模和控制器设计，实验结果表明，压电工作台运动定位平均跟踪误差和最大跟踪误差分别 为 、 ，误差约 ，可满足 常规应用中的微定位精度需求。建模过程 ００９３０１１５ｍ ０１ｍ ＳＥＣＭ μ μ 和控制器设计简单易行且无须额外的微定位传感器，适于 的常规应用。 ＳＥＣＭ 关键词：扫描电化学显微镜；压电工作台；运动定位；控制器；迟滞模型 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＨ７４２ Ａ １６７１４７７６２００９０７０４２８０５ 犕狅犱犲犾犻狀犪狀犱犆狅狀狋狉狅犾犾犲狉犇犲狊犻狀狅犳 犵 犵 ／ 犛犈犆犕犕犻犮狉狅犖犪狀狅狅狊犻狋犻狅狀犻狀犛狊狋犲犿狊 狆 犵狔 １ １ １ ２ ， ， ， ＺｈａｎＤｏｎＺｈａｎＹｕｌｉｎＬｉＸｉａｎｍｉｎＷｅｉＱｉａｎ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， ， ， ； １．犛犮犺狅狅犾狅犆狅狀狋狉狅犾犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犈狀犻狀犲犲狉犻狀犛犺犪狀犱狅狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋犑犻狀犪狀２５００６１犆犺犻狀犪 犳 犵 犵 犵 狔