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第 卷 第 期 光学精密工程
14 1
Vol .14 No .1
O tics and Precision En ineerin
年 月 p g g
2006 2 Feb .2006
文章编号 ( )
1004-924X 2006 01-0094-06
二自由度微定位平台的研制
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田延岭 !张大卫 !闫 兵
天津大学机械工程学院!天津 # 天津工程师范学院机械工程系!天津 $
1 . 300072 2 . 300222
摘要!研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台 该微定位平台具有高刚度\高响应速度和高分辨
率等优点 为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足 采用杠杆放大机构增加微定位平台的位移输出 考虑驱动电
路的影响 建立了微定位平台的机电耦合模型 通过试验研究了微定位平台的静动态特性 试验结果表明微定位平台的
分辨率为 5 nm 固有频率分别为143 ~Z 和 180 ~Z 该微定位平台可应用于纳米级的微定位
关 键 词!微定位平台!压电陶瓷驱动器!动态性能
中图分类号! 文献标识码!
T~703 A
Develo mentofa2-DOFmicro ositionin table
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