第六章 压电式传感器概念.pptVIP

第六章 压电式传感器 压电式传感器的工作原理是以某些物质的压电效应为基础，它是一种发电式传感器。 压电效应是可逆的，压电式传感器是一种典型的“双向传感器”。 第一节 压电效应 ①正压电效应：当沿着一定方向对某些电介质加力而使其变形时，在一定表面上产生电荷当外力去掉后，又重新回到不带电状态。 ②逆压电效应：当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械应力；当外加电场扔去时，这些变形或应力也随之消失。 压电效应是可逆的。 一、压电效应表达式 压电方程是关于压电体中电位移、电场强度、应力和应变张量之间关系的方程组。常表现为：当压电元件受到外力F作用时在相应的表面产生表面电荷。 实际使用时还有其它压电常数： (三)机电耦合系数K 第二节 压电材料 1、单晶体 2、铁电陶瓷 铁电陶瓷是另一类人工合成的多晶体压电材料，它们的极化过程与单晶体的石英材料不同。这种材料具有电畴结构形式，其分子形式呈双极型，具有一定的极化方向。 钛酸钡陶瓷未受外加电场极化时：钛酸钡晶体单元在120oC以下时形状呈立方体。在无外电场作用时，各电畴的极化效应相互被抵消，因此材料并不显示压电效应。 第三节 压电元件常用结构形式 第三节 压电元件的常用结构形式 一、压电元件的基本变形 第四节 等效电路与测量电路 一、 压电式传感器的等效电路 电荷放大器 是一个带电容负反馈的高增益运算放大器。 等效电路图如图所示。 式中 ei—放大器输入端电压； eO—放大器输出端电压； Cf—放大器反馈电容。 根据：eO=-Kei，K为电荷放大器开环放大增益，则有 当K足够大时，有KCfC+Cf，则式（3.87）简化为 在一定的条件下，电荷放大器的输出电压与压电传感器产生的电荷量成正比，且与电缆引线所形成的分布电容无关。 为使运算放大器工作稳定，通常在电荷放大器的反馈电容Cf上并联一个电阻Rf。 第五节 压电式传感器的应用举例 在力作用下产生的电压： 送入放大器输入端的电压为： 幅值为 与作用力之间的相位差为 传感器电压灵敏度为 当要使电压灵敏度为常数，应使压电片与前置放大器的连接导线为定长，以保证CC不变。 压电式传感器的高频响应很好。 幅值为 (3.87) (3.88) 图3.65 并联的情况 * * d为压电系数。 为了使用方便，常用压电应力常数，则有 物理意义：在短路条件下，单位应力所产生的电荷密度 i：表示晶体极化方向 j：表示作用力方向 当材料的受力方向和产生的变形不一样时，压电系数也不同。 晶体在任意受力状态下产生的表面电荷密度由方程组确定 (一)压电常数g 在“短路条件”下单位应力在晶体内部产生的电势梯度或者是应变引起的电位移。压电常数g和d之间的关系为 (二)压电常数h 表示每单位机械应变在晶体内部产生的电势梯度，是关系到压电材料机械性能的多数，其值为： h=gE E：晶体的弹性模量 它是反映压电材料的机械能与电能之间相互耦合关系的物理量，其值为 机电耦合系数是一个没有量纲的物理量，它与其它压电常数的关系为： 其中x轴是平行于相邻棱柱面内夹角的等分线，垂直于此轴的平面上压电效应显强故称为电轴，垂直于六边形对边的轴线y轴称机械轴，在电场作用下，沿该轴方向的机械变形最明显；在垂直于x、y轴的纵抽z轴方向没有压电效应，此轴可用光学方法确定，故称光抽或中性轴。 电偶极距定义为电荷q与间距l的乘积，即P＝ql，其方向是从负电荷指向正电荷，是一种矢量。 未受应力时，电偶极距的矢量和为零，即 当晶体受到应力 作用时，晶体在X、Y、Z三个方都产生伸缩变形。在x方向上产生压电效应。而y和z方向的电偶极距仍为零。从而使石英晶体的压电常数为： 当受到应力 作用时 当受到应力 作用时： 当切应力 作用时产生切应变，同时有x方向上的伸缩应变，故在x方向有压电效应。压电常数为 当 和 作用时都产生切应效这种应变改变了y方向上 的状态。所以y方向有压电效应。其压电常数为 并且有： 可见，石英晶体的压电常数只有 是独立的。因此它的压电常数矩阵可写为 在 和 作用下产生的效应分别称为“纵向压电效应”和“横向压电效应” 有关晶片的切型及其符号是这样规定的：在直角坐标中，如切片的原始位置是厚度平行于X轴，长度平行于Y轴，宽度平行于Z轴，以此原始位置旋转出来的切型为X切族；如切片的厚度、长度和宽度边分别平行于Y、X和Z铀，从此原始位置旋转出来的切型为Y切族。 图3.59 钛酸钡压电陶瓷电畴结构 （a）未极化（b）已极化 钛酸钡材