薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计 - 压电与声光.PDFVIP

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2017-06-18 发布于天津
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薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计 - 压电与声光.PDF

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薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计 - 压电与声光

第卷第期压电与声光年月文章编号薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计杜波马晋毅蒋欣江洪敏徐阳田本朗金成飞司美菊电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室四川成都中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆摘要为了抑制薄膜体声波谐振器的寄生谐振建立了薄膜体声波谐振器的二三维有限元模型通过频率响应仿真分析了不同电极结构的谐振器在中心频率处的振动位移分布情况和频率响应曲线评估了不同电极结构对谐振器寄生振动的影响并完成谐振器电极结构的优化设计实现了谐振器寄生振动抑制根据仿真优化结果表明设计并制作了工作频率在的薄膜体声波谐振器谐振器插入损耗无明显寄生谐振对设计进行了验证关键词薄膜体声波谐振器有限元寄生振动频率响应中图分类号文献标识码