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第十二章 透射电子显微镜 第十二章 透射电子显微镜 §12 －1 TEM的结构与成象原理 §12 －1 TEM的结构与成象原理 TEM的结构主要由三大部分组成：电子光学部 分；真空部分；电气部分。 透射电子显微镜和光学显微镜的光路系统，从 成像原理来看，两者是相同的 就电子光学部分而言，也可分为三个主要部分 组成，分别是照明系统、成像系统和观察记录 系统。 JEM2010F型透射电子显微镜外形图 一、照明系统 一、照明系统 1. 电子枪 1. 电子枪 电子枪是透 射电子显微镜的 电子源，常用的 是热阴极三级电 子枪，是由发卡 形钨丝阴极、栅 极帽和阳极组 成。 2. 聚光镜 2. 聚光镜 进一步使电子束会聚， 提高电子束流的密度，调节 束流的强度、孔径角和束斑 直径。 双聚光镜： 双聚光镜： 第一聚光镜：强激磁透镜， 缩小率为10～50倍左右，将 电子枪第一交叉点像缩小为 1～5μm 第二聚光镜：弱聚光镜，适 焦时放大倍数为2倍，可获得 2～10μm的照明电子束。 二、成像系统 二、成像系统 成像系统主要由物镜、中 间镜和投影镜组成，透镜的数 目由TEM所需的电子光学放大 倍数来决定，也取决于TEM的 分辨率。 ①物镜 强激磁透镜， 短焦距（f ＝1.5 ～3mm ） 单级放大100 ～300倍 ②中间镜 ②中间镜 弱激磁透镜，长焦距变 倍透镜，可在0 ～20倍调 节，当M1时，可进一步放 大物镜像。当M1时，可用 来缩小物镜像，中间镜可用 来调整电镜的总的放大倍 数。有的电镜可能不止一个 中间镜。 ③投影镜 ③投影镜 强激磁透镜，短焦距， 其景深和焦长都非常大。对 中间镜放大的想进一步放 大。投影到接收屏上。 §12 －2 主要部件的结构与工作原理 §12 －2 主要部件的结构与工作原理 ① 样品铜网 ① 样品铜网 透射电子显微镜的 样品即小又薄，通常需 用一种外径3mm的样品铜 网（如200目）来支持。 如图所示。 ② 样品台 样品台的作用是成在样品，并使样品能在物镜极靴孔内 平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区或位向进行观察 分析。样品架必须使样品铜网牢固地夹持在样品座中并保持 良好的热、电接触，减少因电子照射引起的热或电荷堆积而 产生样品的损伤或图像漂移。 §12 －3 透射电镜分辨本领和放大倍数的测定 §12 －3 透射电镜分辨本领和放大倍数的测定 点分辨本领的测定： 点分辨本领的测定： 将铂、铂铱合金或铂钯 合金，用真空蒸发的方式可 以得到粒度为0.5～1nm、间 距为0.2～1nm的粒子，将其 均匀分布在火棉胶（或碳） 支持膜上，在高放大倍数下 拍摄成像。为了保证测定的 可靠性，至少在相同条件下 拍摄两张底片，然后经光学 放大（5倍左右），从照片上 找出粒子最小间距， 除以总 的放大倍数，即可得相应的 点分辨本领。 晶格分辨本领的测定 利用外延生长方法制得的定向单晶薄膜作为标样， 拍摄其晶格像。 测定晶格分辨本领常用晶体 晶面间距 晶面间距 晶 体 衍射面 晶 体 衍射面 (nm) (nm) 铜酞青 (001) 1.26 金 (200) 0.204 铂酞青 (001) 1.194 (200) 0.144 亚氯铂 (001) 0.413 钯