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第十四章 气体传感器 14.1 概 述 14.1.1 气体传感器及气体检测方法 气体传感器是指能将被测气体浓度转换为与其成一定关系的电量输出的装置或器件。 气体传感器必须满足下列条件： （1）能够检测爆炸气体、有害气体的允许浓度和其他基准设定浓度，并能及时给出报警、显示和控制信号； （2）对被测气体以外的共存气体或物质不敏感； （3）性能长期稳定性好； （4）响应迅速，重复性好； （5）维护方便，价格便宜。 14.1.2 气体传感器的分类 干式气体传感器－－－构成气体传感器的材料为固体者 接触燃烧式、半导体式、固体电解质式、红外线吸收式、导热率变化式。 湿式气体传感器－－－利用水溶液或者电解液来感知待测气体者 极谱式、原电池式 14.2 半导体气体传感器 14.2.1半导体气体传感器及其分类 气体传感器外形 酒精传感器 酒精测试仪 呼气管 家庭用煤气报警器 家庭用液化气报警器 一氧化碳传感器 其他气体传感器 二、氧浓度传感器 氧浓度传感器外形 汽车尾气分析 有毒气体传感器的使用 * 氢气、硫化氢 150℃ 铂栅MOS场效应管 晶体管特性 氢气、一氧化碳、酒精 室温－200℃ 铂/硫化铬、铂/氧化钛 二极管整流特性 硫醇 室温 氧化银 表面电位 非电阻式 酒精、可燃性气体 氧气 300-450℃ 700℃ LaIxSrxCoO3,r-Fe2O3 氧化钛、氧化钴、氧化镁、氧化锡 体控制型 可燃性气体 室温－450℃ 氧化锡、氧化锌 表面控制型 电阻式 代表性被测气体 工作温度 传感器举例 主要的物理特性 二、半导体气体传感器 气体敏感元件，大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后，引起其电学特性(例如电导率)发生变化。目前流行的定性模型是：原子价控制模型、表面电荷层模型、晶粒间界势垒模型。 1、半导体气敏元件的特性参数 （1）气敏元件的电阻值 将电阻型气敏元件在常温下洁净空气中的电阻值，称为气敏元件(电阻型)的固有电阻值，表示为Ｒａ。一般其固有电阻值在(103～105)Ω范围。 测定固有电阻值Ｒａ时, 要求必须在洁净空气环境中进行。由于经济地理环境的差异，各地区空气中含有的气体成分差别较大，即使对于同一气敏元件，在温度相同的条件下，在不同地区进行测定，其固有电阻值也都将出现差别。因此，必须在洁净的空气环境中进行测量。 （2）气敏元件的灵敏度 是表征气敏元件对于被测气体的敏感程度的指标。它表示气体敏感元件的电参量（如电阻型气敏元件的电阻值）与被测气体浓度之间的依从关系。表示方法有三种 （a）电阻比灵敏度K （b）气体分离度 RC1—气敏元件在浓度为Cc的被测气体中的阻值： RＣ2—气敏元件在浓度为C2的被测气体中的阻值。通常，C1＞C2。 （c）输出电压比灵敏度KV Va:气敏元件在洁净空气中工作时，负载电阻上的电压输出； Vg:气敏元件在规定浓度被测气体中工作时，负载电阻的电压输出 Ra—气敏元件在洁净空气中的电阻值； Rg—气敏元件在规定浓度的被测气体中的电阻值 （4）气敏元件的响应时间 表示在工作温度下，气敏元件对被测气体的响应速度。一般从气敏元件与一定浓度的被测气体接触时开始计时，直到气敏元件的阻值达到在此浓度下的稳定电阻值的63％时为止，所需时间称为气敏元件在此浓度下的被测气体中的响应时间，通常用符号tr表示。 （3）气敏元件的分辨率 表示气敏元件对被测气体的识别（选择）以及对干扰气体的抑制能力。气敏元件分辨率S表示为 Va—气敏元件在洁净空气中工作时，负载电阻上的输出电压；Vg—气敏元件在规定浓度被测气体中工作时，负载电阻上的电压 Vgi—气敏元件在i种气体浓度为规定值中工作时，负载电阻的电压 （5）气敏元件的加热电阻和加热功率 气敏元件一般工作在200℃以上高温。为气敏元件提供必要工作温度的加热电路的电阻(指加热器的电阻值)称为加热电阻，用RH表示。直热式的加热电阻值一般小于5Ω；旁热式的加热电阻大于20Ω。气敏元件正常工作所需的加热电路功率，称为加热功率，用ＰＨ表示。一般在(0.5～2.0)W范围。 （6）气敏元件的恢复时间 表示在工作温度下,被测气体由该元件上解吸的速度,一般从气敏元件脱离被测气体时开始计时,直到其阻值恢复到在洁净空气中阻值的63％时所需时间。 （7）初期稳定时间 长期在非工作状态下存放的气敏元件,因表面吸附空气中的水分或者其他气体,导致其表面状态的变化，在加上电负荷后,随着元件温度的升高,发生解吸现象。因此,使气