第9章几种新型传感器.ppt

微机电系统（MEMS）是在一个硅基板上集成了机械零件和电子元器件， 可对声、光、热、磁、运动等自然信息进行检测， 并且具有信号处理器和执行器功能的 微机械加工型智能传感器。 组成如图9-36所示，外形毫米量级，机械零件和电子元器件微米／纳米量级。 图9-36 三位一体的微机电系统 9.7.1 微机电系统（MEMS）的特点 微机电系统的制作主要基于两大技术，即集成电路（IC）技术和微机械加工技术。 其中集成电路技术主要用于制造电子部分，即信号处理和控制系统部分，与传统的IC生产过程基本相同； 微机械加工技术用于制造机械部分，将机械部分直接蚀刻到一片晶圆（wafer 单晶硅圆片）中， 或者增加新的结构层来制作MEMS产品。 微机电系统具有以下特点： 1）体积小，重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短，可以嵌入大尺寸系统中使用。 2）以硅为主要材料，硅的强度、硬度和弹性模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨， 可利用大规模集成电路生产中的成熟技术、工艺进行生产； 3）用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个MEMS，再切割封装成产品，批量生产可大大降低成本； 4）可把多种功能的