第四讲衍射光栅及制作技术.ppt

衍射光栅及其制作技术简介 2008. 4. 2 一. 引言 什么是衍射光栅 ?任何具有空间周期性的衍射屏都可以叫做 衍射光栅。 ?衍射元件的重复阵列能够使一个出射波的 位相、振幅或两者都产生周期性的交替变化，这 种重复阵列叫做衍射光栅。 例如： 人为加工的具有周期性的线、缝、槽等器件 光学性质（如折射率）周期变化的器件 天然的材料（晶体） 衍射光栅被广泛地应用于科研和生产，特别在光谱学、光通讯、光信息处理等许多领域都有着十分重要的应用。 2．光栅的分类 光栅种类很多，按特性分类如下： 光谱光栅 光纤光栅 计量光栅 按用途分类 耦合光栅 微波光栅 辐射光栅 偏振光栅 按面型分类: 平面光栅 球面光栅 凹面光栅 柱面光栅 非球面光栅 椭球面光栅 超环面光栅 透射光栅 按工作原理分类 反射光栅 正弦光栅 按槽型分类 矩形光栅 锯齿形光栅（阶梯光栅） 远红外光栅 红外光栅 按工作波段分类 紫外光栅 真空紫外光栅 X射线光栅 机械刻划光栅 按制造方法分类 全息光栅 全息—离子束刻蚀光栅 复制光栅 3. 光栅的衍射光强分布 4. 光栅方程 d(sin?i ? sin?k)=k? (k=0, 1, 2 ??????) 从光栅方程可以看出： （1）d?/2； （2）?i 不变，在不同的衍射方向上的光波长不同； （3）?k不变，改变?i ，同样可以得到不同的波长输出。 （4）?I+?k 不变，转动光栅时，同样可以得到不同的波 长输出。（单色仪） （5）存在衍射级次重叠问题 5. 光栅的分辨本领 二. 光栅制作技术简介 机械刻划 紫外光刻 全息光刻 1．机械刻划法 机械刻划法制造光栅是在光栅刻划机上进行。用金刚石刻刀在光栅基底上的金属膜（一般多为铝膜）上刻划，实际上是金刚石刻刀在膜层上挤压或摩擦抛光的过程。 工艺流程： 机械刻划法多用来制造反射式闪耀光栅。 机械刻划法的特点： 闪耀角由刻刀形状决定 光栅衍射效率高 有鬼线 杂散光较强 制作效率低 3．全息光刻（全息照相法） 六十年代初，有了激光。1967年Rudolgh和Schmahl提出用氩离子激光的干涉、光刻胶作为记录材料来制造光栅，首次证实了用全息照相法制造的光栅----全息光栅具有良好的光谱学性能。1970年法国J-Y公司已经制成了用于可见、紫外和X射线波段的多种全息光栅，并已开始商品化。 全