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- 2017-06-20 发布于湖北
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迁移率的退化(续) 经过长期研究,已经确定,在电场不强时,N沟道的?确实比P沟道的?大得多,约2.5倍。但当电场增强时,这个差距就缩小,当电场强到一定程度,N管与P管达到同一饱和速度,得到同一个?值。它与掺杂几乎无关。 5.7.3 沟道长度调制 简化的MOS原理中,认为饱和后,电流不再增加。事实上,饱和区中,当Vds增加时,Ids仍然增加的。这是因为沟道两端的耗尽区的宽度增加了,而反型层上的饱和电压不变,沟道距离减小了,于是沟道中水平电场增强了,增加了电流。故器件的有效沟道长度为, L = L?? 式中?是漏极区的耗尽区的 宽度,如右图所示,且有: 其中Vds?VDsat?是耗尽区上的电压。如果衬底掺杂高,那么这种调制效应就减小了。 5.7.4 短沟道效应引起门限电压变化 迄今,我们对MOS管的分析全是一维的。无论是垂直方向,还是水平方向,都是一维计算的。我们隐含地假定,所有的电场效应都是正交的。然而,这种假定在沟道区的边沿上是不成立的。因为沟道很短,很窄,边沿效应对器件特性有重大影响。(最重要的短沟道效应是VT的减小。) 加在栅极上的正电压首先是用来赶走P型衬底中的多数载流子——空穴,使栅极下面的区域形成耗尽层,从而降低了Si表面的电位。当这个电位低到P型衬底的费米能级时,半导体出现中性。这时,电子浓度和空穴浓度相等。若再增加栅极电压,
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