均匀照明用衍射光学器件的空间频域优化设计方法.pdfVIP

中阔激光 第 3q罪第 10 期 Vol‘ 34 , No.10 2007 年 10 月 CHINESE JQURNAL OF LASERS October , 2007 文章编号: 0258-7025 (2007) 10-1388-05 均匀照明用衍射光学器件的空间频城 优化设计方法 张盘，舒方杰，张晓坡，部融，李非平 (中网科学技术火学物现系，安徽合ßB 230026) 摘要 为改善衍射光寻常椿件(DOE)我均匀照明系统中的应用性能，提商兀件优化设计的效率，提出了衍射光学精 件的空间频域优化设计方法.荔于对均匀照明系统焦丽输的光强分布的穷间颇潜分析，从穷|闯颇域的角度，指!Il 通过控制辈革斑中的低颇调制成分，能够进…步挺高实际均匀照明的效果。在此基础上，该优化方法通过在频城内 设lE优化目标和费用阙数，来确定优化方向，可以有效减少输出光强分布巾的低锁调制成分。应用该方法所得… 维多台阶相位理衍射光学指件的设Tt结果袋明，在带虑穷闯20μm匀滑后，焦量班主瓣光颁均1f靠在为3.3% 。与E.嘀续 问增优化方法的对J:t表明，在元件实用效泉方I蝠，空间频域优化设汁方法优于空域1f浊。 羔键词 激光物理里;衍射光学;均匀照明;Jll:匀滑g 空(iU锁谱 申圄份自挂号 0436 文献标识码 A Spatial Fr叫uency Spectrum Optimization Method for Design of Diffractive Optical Elemenls in Uniform IIIumination ZHANG Weì , S日U Fang寸ie ， ZHANG Xiac吨。， WU Rong , LI Y ong-ping (D叩artmt1:锐。f Ph.YS ics I U旧四γsity of ScieTt ce (l.nd Tech削lO!l;Y Qf Chi刑事 He.fei ， A咄咄 230026 ‘ Chi饨的 Abstract A spatíal 叩ectrum optimization method for the desi且n of diffractive optîcal elements (DOE) used in uniform illumínatïon , is p时sented to improve the design rcsults and optimize efficÎency. The spatial fr叫uency spectrum of intensíty dístribution 00 11世 focal pla.ne is analyzed I whìch shows that the uníformity can be furth盯 improved by controlling the low frequency 晤时íal modul耐10ns 1n the focal 叩ot. 50 the goal and cost functÎons of the new method are chosen in 叩atial spcctrutll domain to dClcrmine the :s earching path , whìch can decrea. se the low fre叫uency modulatkms. ßy using the new method. a DOE th盯 has multÎ-stcp phase distribution is optímized. The rcsult shows that the roo• tnean-square e