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开发与研究 微观表面形貌检测方法及其发展 湖北工业大学机械工程学院 夏 阳 黄进凡 摘要：零件表面的微观几何形貌在很大程度上影响 现。1929年 G．Schmalz根据光学放大原理研制的表面接 着它的使用性能。本文论述 了微观表面形貌检测方法 的 触式轮廓记录仪 ]，垂直放大率为 100倍 。随后出现了 发展历史，分析了接触式和非接触式测量表面形貌的特 一 些机械触针法实现信号转换的表面特征记录仪。1930 点，重点阐述了常见的光学测量方法，并对其进行了比 年人们开始在图样上提出加工条件要求的符号，对表面 较 。并重点分析了光学干涉法 、触针法的基本特点。 加工质量进行分类控制 。如德 国标准 DIN 140等 。1935 关键词 ：微观表面形貌 ；非接触测量 ；接触式测量 ；干 年开始 ，英 国 Taylor—Hobson公司的Reason等人系统 涉法 地研究了表面粗糙度的特性和触针法的测量原理。1942 0 引言 年投入商品生产，其第一台触针式仪器仍然是 当今各类 随着工业生产的发展和科学技术 的进步 ，人们对于 触针式表面轮廓仪的基本形式 ]。1936年 E．J．Albott 机械产品表面质量的要求越来越高。微观表面形貌反映 研制了第一 台车 间用表面轮廓仪 ，垂直放大倍 率为 5 了工件表面质量的许多信息。大量研究表明，表面形貌 万倍 ，并能测得评定参数大小。1942年 R．E．Reason成 不仅直接影响零件的耐磨性 、耐腐蚀性、抗疲劳能力、密 功研制了系列 Talysurf触针式表面轮廓仪 ，这在粗糙 封性能以及外表镀层和美观等，而且还对设备的工作性 度测量史上具有重要的意义。从此轮廓仪进入表面特征 能、装配质量 、使用寿命、振动及噪声等有很大影响…，国 测量领域 ，接触式测量方法在表面形貌测量得到迅速发 内外很多学者在微观表面形貌检测方面做了大量研究工 展 ，占领了主导地位 。 作。依据测量原理的不 同，表面形貌测量技术主要可分 接触式测量就是测量装置的探测部分直接接触被测 为：接触式测量方法、光学测量方法及非光学式扫描显微 表面，能够直观地反映被测表面的信息，接触式测量方法 镜法。由于计算能力、速度和图像 、数据处理技术的不断 主要是触针法、比较法、印模法 ]。 提高 ，表面微观形貌的测量从传统的机械触针式测量 已 触针法又称针描法 ，图 1所示为常用 的电感触针式 发展到今天的利用各种原理实现 的非接触式测量 。目前 传感器 ，其测量范 围一般为 ±100um或 ±300um，分辨率 的非接触式形貌测量方法所依据的原理主要是光、声、电 取决于电路系统的放大倍率和数据采集系统的分辨率。 或其结合 ，其中光学方法在非接触式形貌测量 中的应用 它是将一个很尖 的触针 (半径可 以做到微米量级 的金刚 最为广泛 。 石针尖)垂直安置在被测表面上作横 向移动。将触针垂 1 接触式测量方法 直起伏运动的微小位移通过电路转换成 电信号并加 以放 2O世纪 2O年代第一台用于表面形貌测量的仪器出 大和运算处理 ，就可以得到工作表面粗糙度参数值。触 (5)超声波流量计采用多脉冲、宽频带信号，具有一 (8)流量计装于管线高点 ，气泡积聚形成不满管现 定抗 电磁干扰能力 ，但在安装现场存在高频 ，特别是变频 象，易造成测量值偏高。 干扰源时不能完全正常工作。探头信号电缆过长会使信 (9)流量计转换器 内的特征 系数与出厂校准值不符， 号衰减 ，一般不宜超过 200m，且应使用特定阻抗 的同轴 如 AB值不相等，可造成运行不稳定。 电缆