靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量与特性评价.pdfVIP

! 第# 卷! 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $! ! $**+ 年$ 月 ,-., /0123 45623 5)7 /538-942 :25;6 7=( ，$**+! 文章编号：! **?@$$（$**+ ）$A?#*+ 靶丸表面轮廓形貌!# 精密测量及特性评价! $ $ 赵学森 ，! 孙! 涛 ，! 高党忠 ，! 唐永建 ，! 董! 申 （$ 哈尔滨工业大学 精密工程研究所，黑龙江 哈尔滨 +*** ； $$ 中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川 绵阳B$C** ） ! ! 摘! 要：! 建立了由改造的原子力显微镜（5D; ）、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形 貌精密测量系统，气浮轴系的回转精度达* ( *?C !E ，实现了对激光核聚变靶丸@ 个正交方向上完整圆周迹线 的测量。对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析。结果表明：其球度值为* ( ?$ !E ；模 数范围为$ F * ， F +* ，+ F ** 及* F *** 对应的表面粗糙度值平均为*+( # ，$ ( $ ，B( $ ，A( $+ GE ；并 得出了平均 维功率谱模数关系曲线。 ! ! 关键词：! -9D 靶丸；! 5D; ；! 球度；! 表面粗糙度；! 功率谱；! 精密回转主轴系；! 辅助转位轴系 ! ! 中图分类号：! 84B$#! ! ! ! 文献标识码：! 5 ! ! 空心靶丸是惯性约束聚变（-9D ）内爆物理实验的核心靶件，在内爆加速期间，由于瑞利泰勒流体力学不稳 定性，其表面缺陷将被放大，造成不对称压缩甚至球壳破裂，导致打靶实验失败［ F @ ］。因此精密测量靶丸整体 表面形貌特征对激光打靶实验和改进制靶工艺有着十分重要的意义。以往对于靶丸表面形貌的检测，通常采 ［? ］ ［+ ］ 用5D; 、扫描电子显微镜（62; ） 进行分析，但这些方法都具有其局限性，前者仅能定量测量靶丸表面的 局部形貌及粗糙度，后者只能从图像判断靶丸的表面质量而无法实现定量测量。由于靶丸尺寸微小，检测精度 要求又很高，上述方法很难在精度、测量范围等方面对靶丸的整体形貌进行精确表征。CC+ 年前后，美国劳伦 斯利弗莫尔实验室（44)4 ）将精密旋转轴系与5D; 相结合开发了表面轮廓仪，实现了对靶丸表面@ 个大约正 交方向上完整圆周轨迹的测量［$ ］。本工作对5D; 结合精密旋转轴系的方法进行了新的改进，增加了用于转换 位置的辅助轴系，从而可实现靶丸表面@ 个正交方向上的精确转换和测量，并对表面形貌的测量结果进行了分 析和评价。 % 靶丸表面形貌测量装置及测量原理 %( % 测量装置组成及工作原理 ! ! 本测量系统由经过改造的5D; 、精密回转气浮主轴系、辅助转位轴系、工作台（包括主工作台及转换工作 台）、压电陶瓷驱动器、负压吸附装置、系统控制与信号采集卡、主控计算机（包括相关软件）等部分组成。 ! ! 主轴系统的组成包括空气静压轴承、旋转编码器、电机测速机组、真空吸附装置、调心工作台等。直流力矩 电机及测速机组在调速控制卡的调节下驱动气浮轴承平稳转动，转速范围设定为 F @ HI EJG（可调节），轴系的 回转精度可达* ( *?C !E 。待测靶丸由一个空心电极丝吸附在气浮轴承的前端，调心使其表面高度变化在5D; 量程范围内，然后可开始表面状态的测量。整个主轴系部分通过一个主工作台连接到5D; 台面上，使用5D; 工作台的$ 维驱动电机实现主工作台沿! 与 方向的移动。辅助轴系的轴线与主轴系垂直，它首先与一个能 够实现$ 维微量进给的柔性铰链工作台相连，之后整体安装在主工作台上。柔性铰链由两个压电陶瓷驱动器 分别在! ，K 方向上驱动，这样便实现了两个轴系位置的相对移动，以使靶丸能够在两个轴系间相互转位。测 量系统的控制部分采用了基于主控计算机单片机的上下位机二级控制模式。单片机（;9L ）接收主控计算机 的指令，对电机进行各种运动方式的控制，并按编码器角度反馈对5D; 输出的测量数据（经由信号输出单元 65;