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XPS检定规程草案-北京电子能谱中心
标准分类号 G B
中华人民共和国国家标准
XXX ISO XXXXX:XXXX
GB/T XXXXX-XXXX
Verification regulation for X-ray photoelectron spectrometer
X-射线光电子能谱仪检定规程
稿类
200×−××−××发布 200×−××−××实施
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发布
X-射线光电子能谱仪检定规程
JJG ×××−200×
Verification regulation for X-ray photoelectron spectrometer
本规程主要起草人:黄惠忠
本规程参加起草人:曹立礼 赵良仲 王亦曼 吴文辉 沈电洪
朱永法 刘 芬 于广华 吴正龙
本检定规程经国 家标准化管理委员会于200×年××月××日批准,
并自200×年××月××日起实施
目 次
1 前言…………………………………………………………………………… 1
2 范围…………………………………………………………………………… 1
2.1 原理………………………………………………………………………… 1
2.2 构成………………………………………………………………………… 1
3 计量单位……………………………………………………………………… 2
4 计量要求……………………………………………………………………… 2
4.1 技术指标…………………………………………………………………… 2
5 技术要求……………………………………………………………………… 3
5.1 外观要求…………………………………………………………………… 3
5.2 安装条件…………………………………………………………………… 3
5.3 检定环境…………………………………………………………………… 3
5.4 检定设备…………………………………………………………………… 3
5.5 检定项目和检定方法……………………………………………………… 3
6 计量管理……………………………………………………………………… 4
6.1 检定结果处理……………………………………………………………… 4
6.2 检定周期…………………………………………………………………… 4
附录A 检定证书………………………………………………………………… 5
X-射线光电子能谱仪检定规程
1 前言
本规程参照国际法制计量组织(OIML )技术工作导则第二部分:国际建议
和国际文件起草表述规则、JJG1002—84 国家计量检定规程编写规划,
GB3100—93 国际单位制及其应用编写的。
2 范围
本规程适用于 X 射线光电子能谱仪(XPS 或 ESCA )一般检定。
2.1 原理
XPS 的基础是爱因斯坦的光电定律和化学位移概念。
用一束软 X 射线照射固体样品,入射光子同样品相互作用,光子被吸收而
将其能量转移给原子某一壳层上被束缚的电子,此电子把所得能量的一部分用来
克服结合能和逸出功,余下的能量作为它的动能而发射出来,此电子叫做光电子。
按爱因斯坦光电定律,有
E =hν−E −ϕ
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