XPS检定规程草案-北京电子能谱中心.PDF

标准分类号 G B 中华人民共和国国家标准 XXX ISO XXXXX:XXXX GB/T XXXXX-XXXX Verification regulation for X-ray photoelectron spectrometer X-射线光电子能谱仪检定规程 稿类 200×−××−××发布 200×−××−××实施 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发布 X-射线光电子能谱仪检定规程 JJG ×××−200× Verification regulation for X-ray photoelectron spectrometer 本规程主要起草人：黄惠忠 本规程参加起草人：曹立礼 赵良仲 王亦曼 吴文辉 沈电洪 朱永法 刘 芬 于广华 吴正龙 本检定规程经国 家标准化管理委员会于200×年××月××日批准， 并自200×年××月××日起实施 目 次 1 前言…………………………………………………………………………… 1 2 范围…………………………………………………………………………… 1 2.1 原理………………………………………………………………………… 1 2.2 构成………………………………………………………………………… 1 3 计量单位……………………………………………………………………… 2 4 计量要求……………………………………………………………………… 2 4.1 技术指标…………………………………………………………………… 2 5 技术要求……………………………………………………………………… 3 5.1 外观要求…………………………………………………………………… 3 5.2 安装条件…………………………………………………………………… 3 5.3 检定环境…………………………………………………………………… 3 5.4 检定设备…………………………………………………………………… 3 5.5 检定项目和检定方法……………………………………………………… 3 6 计量管理……………………………………………………………………… 4 6.1 检定结果处理……………………………………………………………… 4 6.2 检定周期…………………………………………………………………… 4 附录A 检定证书………………………………………………………………… 5 X-射线光电子能谱仪检定规程 1 前言 本规程参照国际法制计量组织（OIML ）技术工作导则第二部分：国际建议 和国际文件起草表述规则、JJG1002—84 国家计量检定规程编写规划， GB3100—93 国际单位制及其应用编写的。 2 范围 本规程适用于 X 射线光电子能谱仪（XPS 或 ESCA ）一般检定。 2.1 原理 XPS 的基础是爱因斯坦的光电定律和化学位移概念。 用一束软 X 射线照射固体样品，入射光子同样品相互作用，光子被吸收而 将其能量转移给原子某一壳层上被束缚的电子，此电子把所得能量的一部分用来 克服结合能和逸出功，余下的能量作为它的动能而发射出来，此电子叫做光电子。 按爱因斯坦光电定律，有 E =hν−E −ϕ