铝阳极氧化膜成长的现场椭圆法研究-大学化学.PDFVIP

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2017-06-24 发布于天津
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铝阳极氧化膜成长的现场椭圆法研究-大学化学

11 5 1996 10 陈　声　培 ( 361005) ( ellip som etr y ) 3% ( p H= 5 . 5) ( ) ( ) , in situ , : A l A l O , 2 3 , 1. 35 nm / V , , , ( ) , , , [ 1] 0. 001 3% ( p H5. 5) , 1. T C-2 ( He-N e , 632. 8 nm , 70 ) 2. YJ32 ( 0 750 V ) 3. -286 ( ) A T 4. 3% , N H4O H p H5. 5 5. , ( 1) 70 L , 24 , N H3 H2OH2 O2H2 O = 125 HCl H2O2 H2 O = 128 45 , , , 1. 33310- 3 Pa 1 ( 99. 99% , 2 m ) Pt 　　1. 　椭圆法原理 2 ( polarizer) ( comp en sat or ) , , , , ( analyz er ) ( ) ( ) 42 , ( F resnel ) [ 2] R P R P = ex p [j ( R P - R S ) ] R S R S tg ej t g P S 2 P S 1( ) 2P 31/ 4 P S P 4( , ) , S 5A 6 7 [ 2] , n0, n1, K 1 , n2 , K 2, D ( ) , , , , 1 , 1 , 2 , 2 n K n K , n , 2n , n + 5 ( n0 , n1 , K 1 , n2 , K 2, D 1 , , D n) n 5 , , , 　　2. 　测量 , ,