银和铜膜中异常晶粒生长和织构变化的实验研究!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ( ! $$0 ! ， ， ， SE= 9( OE 9 ! TAF6A@C $$0 （ ） !$$$0’$P$$0P( $! P$!($( 35)3 LNQ7R53 7ROR53 $$0 528F 9 L2CU 9 7EB 9 银和铜膜中异常晶粒生长和织构变化的实验研究! ）） ） 张建民! 徐可为 !）（陕西师范大学物理学与信息技术学院，西安 #!$$% ） ）（西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安 #!$$’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$ ! ( $$ ( ’ 用透射电子显微镜（ ）和 射线衍射（ ）方法对经 ， 退火的 和 自由膜和 基体上的 和 )*+ , -./ 0$$1 2 34 56 78 34 附着膜的异常晶粒生长和织构变化进行了实验研究 分析表明： 和 沉积膜均有（ ）和（ ）择优取 56 9 -./ 34 56 !!! !$$ 向 但经退火处理后， 和 自由膜的（ ）织构稍有加强 相反， 基体上的 和 附着膜的（ ）和（ ）织构 9 34 56 !!! 9 78 34 56 !$$ !!$ 明显加强，同时用 在 附着膜中观察到了两个（ ）和四个（ ）取向的异常大晶粒 根据表面能和应变能的 )*+ 56 !!$ !! 9 各向异性对实验结果进行了分析9 关键词：薄膜，晶粒生长，织构，实验 ： ， ， !## %!!$ %!! %!($5 ［］ 粒% 等人曾采用各种不同方法沉积 膜，并 9 )@ABC 56 !; 引 言 对膜的织构进行了深入研究，结果发现，主要的择优 ［］ # 取向为（ ），（ ），（ ）和（ ） 等 !$$ !!$ !!! (!! 9 DEF4GE@H2 人对分别用