清洗、光刻、剥离、去胶流程.PDFVIP

清洗、光刻、剥离、去胶流程 1. 清洗 1.1 玻璃原片清洗 1) 根据不同的片子情况选择不同的处理方式：刚领取的玻璃原片，将片子放在无尘纸 上（正面向上），用金刚笔在片子底部写上编号，然后目测是否干净，如不干净则 将片子置于去离子水龙头下冲洗，并用无尘布进行擦拭，注意朝同一方向轻轻擦拭； 如目测片子状态良好则直接进行2 ）； 2) 将片子放入1#专用清洗花篮（白色，pvdf 材质，位于清洗机台面左侧花篮盒中， 公用) ，用专用清洗花篮提手（悬挂于清洗机左侧内侧壁）将专用清洗花篮放入中 性清洗液中（1#槽）清洗；（清洗条件：40℃超声清洗20min ） 3) 用专用清洗花篮提手将1#槽中的专用清洗花篮转移到2#清洗槽，取下花篮提手（冲 洗干净），冲水至电阻率上升到4MΩ·cm （或冲洗5min ）； 4) 用专用清洗花篮提手将专用清洗花篮和片子转移到 4#清洗槽，取下花篮提手，冲 水至电阻率达到8 MΩ·cm； 5) 用专用清洗花篮提手将专用清洗花篮转移出清洗槽，垫上无尘纸放在清洗台上； 6) 戴上专用干净大手套 （悬挂于清洗机右侧内壁上，或者包上无尘纸），将专用清洗 花篮转移至甩干机中，关闭腔门，打开氮气，选择运行程序（电阻率设定值 12 MΩ·cm）甩干片子。因甩干机消耗氮气量大，所以程序运行完毕后应立即关闭氮 气； 7) 戴上专用干净大手套 （悬挂于清洗机右侧内壁上，或者包上无尘纸），取出专用清 洗花篮并转移至光刻间烘箱中，将片子烘干（120℃，10 min 仅供参考）；注意从 甩干机中取出花篮后要立即关闭腔门； 8) 片子烘干后则取出放入专用花篮盒（蓝色，pp 材质，自用）中准备进行后续的光 刻或镀膜工艺。 1.2 完成镀膜工艺后清洗 如片子前道已完成镀膜工艺，则清洗时建议不要使用 1#槽中性清洗液清洗；可以 采用有机清洗方式或者直接去离子水冲洗方式进行清洗。有机清洗过程如下1）~6 ）， 去离子水冲洗过程如下3 ）~6 ）。 1) 丙酮超声清洗10min； 2) 无水乙醇超声清洗10min； 3) 2#槽去离子水冲洗至4MΩ·cm(或5min)； 4) 4#槽去离子水冲洗至8MΩ·cm； 5) 甩干机甩干或N2 吹干； 6) 烘箱烘干。 注：相关操作规范请参考1.1 中的3 ）~8 ）。 2. 光刻 2.1 涂胶 涂胶前，片子应是放在由烘箱取出的专用清洗花篮中；用镊子夹出片子进行涂胶， 涂完胶的片子应放在另外的专门用于放置带胶片子的带胶花篮（蓝色，pp 材质， 公用）中，有胶的片子勿再次放入1#专用清洗花篮中； 2.2 前烘 2.3 曝光 2.4 后烘（视具体工艺而定） 2.5 显影 2.6 冲水 显影后，将片子放入显影冲水盒中清洗两遍。 2.7 N2 吹干 由显影冲水盒中夹出片子，用N2 枪吹干。 2.8 镜检 1) 在显微镜下观察光刻情况，镜检未通过则需返工； 返工去胶工艺： ① 丙酮超声清洗10min； ②无水乙醇超声清洗10min； ③2#槽去离子水冲水至4MΩ·cm(或5min); ④4#槽去离子水冲水至8MΩ·cm； ⑤N2 吹干或甩干。 2) 镜检通过后，将片子放入带胶花篮； 3) 重复2.1~2.9 直到光刻完所有的片子。 注意：如果光刻完之后不是立即进行镀膜工艺，则不用进行下面的2.9~2.12 工艺， 待下次镀膜前再进行2.9~2.12 工艺。 2.9 冲水 1) 将光刻好的片子转移到专用于带胶清洗的2#带胶清洗花篮（白色，pvdf 材质， 公用）中，准备进行清洗。 2) 用专用花篮提手将2#带胶花篮转移到光刻间外清洗机2#清洗槽，取下专用花 篮提手，冲水至电