晶硅制绒技术 卢菁详解.pdfVIP

晶硅制绒技术介绍及添加剂分析 报告人：卢菁 电池工艺原理 • 主要内容： 1.常规制绒技术； 2. 多晶制绒添加剂成分分析。 聚合点滴创生无限 Going Green, Investing Green www. cecep. cn 电池工艺原理 1. 常规制绒技术 1.1制绒的目的； 1.2单晶制绒原理； 1.3多晶制绒原理； 1.4制绒常见问题。 聚合点滴创生无限 Going Green, Investing Green www. cecep. cn 电池工艺原理 1.1 制绒的目的  制绒的作用： a) 去除硅片表面的机械损伤层； b) 清除表面油污和金属杂质； c) 增加光的吸收，提高短路电流； d) 一定程度上的钝化。  什么是“好”的绒面？ a) 绒面小； b) 绒面均匀。  注意：反射率只和绒面的整体情况 有关，和均匀性关系不大，但是均 匀性会影响开路电压。 聚合点滴创生无限 Going Green, Investing Green www. cecep. cn 电池工艺原理  当光入射到具有一定角度的斜面后，光会反射到另一斜面，形成二次或更 多次吸收——陷光原理 聚合点滴创生无限 Going Green, Investing Green www. cecep. cn 电池工艺原理 图中蓝色线为抛光后硅片的反射率光谱曲线； 红色线为原始硅片的反射率光谱曲线； 黑色线为制绒后硅片的反射率光谱曲线。 图中黑色线为制绒后再沉积SiN :H薄膜的反 x 射光谱线。 聚合点滴创生无限 Going Green, Investing Green www. cecep. cn 电池工艺原理  腐蚀速率的决定因素： a) 腐蚀液流至被腐蚀物表面的移动速 率； b) 腐蚀液与被腐蚀物表面产生化学反 应的反应速率； c) 生成物从被腐蚀物表面离开的速率。 聚合点滴创生无限 Going Green, Investing Green www. cecep. cn 电池工艺原理 1.2 单晶硅制绒原理 利用碱性溶液对单晶硅片具有 各向异性腐蚀的特点来制备绒面。  关于NaOH腐蚀： NaOH溶液对不同晶面的腐蚀速率 不同，(100)面的腐蚀速度比(111) 面大十倍以上。 Si  2NaOH  H O Na SiO  2H  2 2 3 2 聚合点滴创生无限 Going Green, Investing Green www. cecep. cn 电池工艺原理 较快的腐蚀速度