三氯化铁蚀刻.pptVIP

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2017-06-25 发布于湖北
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三氯化铁蚀刻.ppt

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三氯化铁蚀刻概述：在印制电路、电子和金属精饰等工业中广泛采用三氯化铁蚀刻铜、铜合金及铁、锌、铝等。这由于它的工艺稳定，操作方便，价格便宜。但是，近些年来，由于它再生困难，污染严重，废液处理困难等正在被淘汰。以氯化铜、过硫酸盐、过氧化氢—硫酸、氨碱以及其它刻蚀液替代。三氯化铁蚀刻液适用于网印抗蚀印料、液体感光胶、干膜、金等抗蚀层的印制板的蚀刻。但不适用于镍、锡、锡－铅合金等抗蚀层蚀刻机理 FeCl3＋Cu →FeCl2＋CuCl FeCl3＋CuCl →FeCl2＋CuCl2 CuCl2＋Cu →2CuCl 蚀刻铜箔的同时，还伴有一些副反应，就是CuCl2和FeCl3的水解反应: 生成的氢氧化物很不稳定，受热后易分解：结果生成了红色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒，悬浮于蚀刻液中，对抗蚀层有一定的破坏作用。 Fe3+的消耗量与Fe3+及Cu2+溶铜量的关系影响蚀刻速率的因素 Fe3+的浓度和蚀刻液的温度刻液中加盐酸的添加量蚀刻液的搅拌其它蚀刻硫酸－铬酸蚀刻过硫酸铵蚀刻硫酸－双氧水蚀刻 * *