现代精密仪器设计第一章_概述.pptVIP

AFM全称Atomic Force Microscope，即原子力显微镜，它是继扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope）之后发明的一种具有原子级高分辨的新型仪器，可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测，或者直接进行纳米操纵；现已广泛应用于半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医药研究和科研院所各种纳米相关学科的研究实验等领域中，成为纳米科学研究的基本工具。 (2)先进科学仪器——知识创新和技术创新的前提和主体内容－“先行官“ ——电子显微镜SEM、 CT断层扫描仪、 X射线物质结构分析仪、 光学相衬显微镜、 扫描隧道显微镜(STM) ； ?据统计，近80年来获诺贝尔奖同科学仪器有关的达到38人。 ?诺贝尔奖获得者R.R.Ernse： “现代科学进步越来越依靠尖端仪器的发展。” ?基因测量仪器问世，使世界基因研究计划提前6年完成。 (3)国防装备－“战斗力“ ——1991年海湾战争美国精密制导炸弹和导弹占8%，12年后伊拉克战提高90%以上, 靠一系列先进仪器仪表系统装备实现。 ——1994年美国国防部成立了“自动测试系统执行局”，统一海路空测试技术，保证立体作战有效实施。现代武器装备无一不配备先进的测量控制仪器仪表。 仪器不是单纯精密机械，也不是单纯精密机械 + 光学，而是 机、电、光、计算机、材料、物理、化学、生物等先进技术高度综合的高技术。 ！ (4)信息行业——源头技术 ——世界正从工业化时代进入信息化时代,向知识经济时代迈进；仪器作用主要是获取信息,作为智能行动的依据 ； ——“信息技术由测试技术、计算机技术、通讯技术三部分组成，而测试技术则是关键和基础” （钱学森） ——美国商务部1999年报告在关于新兴数字经济提出，信息产业包括计算机软硬件行业、通信设备制造及服务行业、仪器仪表行业。 § 1.2 仪器的基本组成 举例 ? 光学精密机械系统 ? 光电转换 ? 电路处理 ? 计算机控制 ? 电机及驱动系统 微器件装配系统（Micro Assembling System） 仪器组成—— § 1.2 仪器的基本组成 光学精密机械系统 光电转换系统 电路处理系统 计算机控制系统 显示、打印系统 电机及驱动系统 信息获取与应用 信息处理、变换与显示 (1)光学精密机械系统 ? 光学成像系统——物镜、光栏等； ? 照明系统——光源、滤镜等 ? 精密机械系统——X-Y精密工作台、微动工作台（Micro-table）、真空吸附台以及传动部件（如 Flexure Hinge）等 (3)电路处理与计算机控制 ——信息处理、变换与存储显示及模块控制等。 功放、A/D、D/A、 DSP、 FPGA、CPLD 、F/V I/O、LED、LCD等 。 (2)光电转换与传递系统 ——CCD、摄像机、光电管（Phototube）、 硅光电池（Silicon photo-cell）、 光栅（Grating）、激光等。 (4)电机及驱动系统 电机——直流电机、交流电机、直线电机、力矩电机、音圈电机（Voice Coil Motor）、步进电机（Stepping Motor）、纳米电机（Nanomotion）等。 微位移技术中，采用致动器（Actuator）作为驱动源，如PZT、Electrostatic Force等。 ！ § 1.2 仪器的基本组成 仪器组成——对应——课程内容： Δ 精密机械系统 精密机械 微位移技术 Δ 定位检测系统