AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究-激光与红外.PDFVIP

第 36卷 　第 9期 　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Vo l. 36,No. 9 　 2006年 9 月 　 　　　　　　　　　　　　　LA SER 　　IN FRARED Sep tem ber, 2006 　　文章编号 : 100 15078 (2006) 09087 103 A lGaA s湿法氧化的热稳定性研究 董立闽 ,郭 　霞 ,渠红伟 ,邹德恕 ,廉 　鹏 ,邓 　军 ,沈光地 (北京工业大学电子信息与控制工程学院 ,北京市光电子技术实验室 ,北京 100022) 摘 　要 :文中针对 A lGaA s湿法氧化后器件热稳定性变差 ,导致性能下降的问题进行了研究 。 对不同氧化条件下样品的热稳定性进行了比较 ,证明采用降低炉温 、延长氧化时间以及经过预 加热处理等方法可以有效提高器件