AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究-激光与红外.PDF

第 36卷 　第 9期 　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Vo l. 36,No. 9 　 2006年 9 月 　 　　　　　　　　　　　　　LA SER 　　IN FRARED Sep tem ber, 2006 　　文章编号 : 100 15078 (2006) 09087 103 A lGaA s湿法氧化的热稳定性研究 董立闽 ,郭 　霞 ,渠红伟 ,邹德恕 ,廉 　鹏 ,邓 　军 ,沈光地 (北京工业大学电子信息与控制工程学院 ,北京市光电子技术实验室 ,北京 100022) 摘 　要 :文中针对 A lGaA s湿法氧化后器件热稳定性变差 ,导致性能下降的问题进行了研究 。 对不同氧化条件下样品的热稳定性进行了比较 ,证明采用降低炉温 、延长氧化时间以及经过预 加热处理等方法可以有效提高器件的热稳定性 。利用拉曼谱分析了 A lGaA s湿法氧化技术中 影响热稳定性的因素 ,认为器件的热稳定性在一定程度上取决于湿法氧化生成物中挥发性产 物含量的多少 。 关键词 :垂直腔面发射激光器 ; A lGaA s;湿法氧化 ;热稳定性 中图分类号 : TN 305. 5; TN 248. 4　　　文献标识码 : A The Study on Therma l Stab ility of A lGaA sW et O x ida tion DON G L im in , GUO X ia, QU Hongwei, ZOU D eshu , L IAN Peng, D EN G Jun , SH EN Guangdi ( In stitute of E lectron ic Inform ation and Engineering, B eij ing Un iversity of Techno logy B eij ing Op toelectron ic Techno logy L ab , B eij ing 100022 , Ch ina) A b stract: The effect of wet oxidization of the A l Ga A s layer on the therm al stab ility of device s ha s been studied 0. 98 0. 02 in different oxidation condition s. A sign ifican t imp rovem en t in therm al stab ility of the oxidized A l Ga A s layer 0. 98 0. 02 ha s been ach ieved by low ing the oxidation temp erature, p rolong the oxidation tim e and p reheating the samp le s before the oxidation, wh ich can be u sed to fabricate reliab le devices. The therm al stab ility is strongly related to the removal of volatile p roducts a s evidenced by