氧化锌晶体的研究进展.PDF

　第 33 卷 第 1 期 　　　　　　　　　 　人　工　晶　体　学　报　　　　　　　　　 　　Vol. 33 　 1 No. 　 2004 年 2 月 　　　　　 　　　　　　JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS　　　　　　　　　　 　February ,2004 　 氧化锌晶体的研究进展 宋 　词 , 杭 　寅 , 徐 　军 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800) 摘要 :基于 ZnO 的紫外激光器的实现掀起了对于传统的纤锌矿结构的半导体 ZnO 材料的新的研究热潮。ZnO 以其 优良的综合性能将成为下一代光电子材料 ,因此对 ZnO 单晶的研究有重要的理论和实践意义。目前生长 ZnO 的方 法有助熔剂法、水热法、气相法和坩埚下降法等等 ,但所生长的 ZnO 单晶的尺寸和质量都有待于提高。 关键词 :氧化锌 ; 晶体生长;半导体 ;水热法 ;助熔剂法 ;气相法 ;坩埚下降法 ( ) 中图分类号:O781 　 　 　 　 文献标识码 :A 　 　 　 文章编号 2004 0120081207 Research Progress of ZnO Single Crystal SONG Ci , HANG Yin , XU Jun ( Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics , Shanghai 201800 ,China) ( ) Received 30 June 2003 Abstract :The UV laser based on the wurtzitic ZnO makes ZnO a hotspot crystal. With the combination of many excellent properties , ZnO will be the next generation optoelectronic material. The research on ZnO crystal is very important not only for basic studies but also for application. The mothods for growing bulk ZnO crystals are flux ,hydrothomal ,vapor phase and Bridgman method ,etc ,and these methods should be improved for growing large and high quality ZnO crystals. Key words :zinc oxide ;crystal growth ;semiconductor ;hydrothermal method ;flux method ;vapor phase me