电子和离子光学的象差理论t）.PDF

电子和离子光学的象差理论t) 西 门 纪 业 (北京大学无线 电电子学系) 电子和 离子光学 的研 究范畴是带 电粒子在 差 ，它们决定了光学系统 的性能和品质．因此 ， 电磁场中聚焦 、成象 偏转等 的规律 ，它 的理论 在 电子和离子光学发展历史上 ，象差理论一直 基础是经典力学、经典 电动力学和光学．它依 是一个重要课题． 据带 电粒子在 电磁场中运动与光线在光学媒质 由作者撰写 的 《电子和离子光学原理及象 中传播之间的相似性 ，运用类似于光学 的方法 差导论》 一书于 1983年由科学 出版社出版 ，谈 和概念 (例 如费马原理 、光程函数、折射率、射 书总结了作者从事 电子和离子光学研究的主要 线 、透镜和象差等)形成 自己的理论体系．在 成果．1986年作者将其专著译成英文，书名 为 二、三十年代 ，电子和离子光学开始发展．现 在 《电子和离子光学的象差理论》 ， 由美 国和英 电子和 离子光学 已渗透到无线 电电子学 、 电子 国的学术 出版社作为 《电子学和 电子物理进展》 和离子显微学 、质谱学、固体物理和表面物理 、 丛书的单独增刊发行．作者的主要研究成果有 材料科学、高能加速器物理和等离子体物理等 以下六个方 面： 许多学科领域中． 1．运用变分原理全面处理 电子和离子光学 电子和离子光学包括如下几个主要方面： 聚焦 、成象、偏转 、象差等基本 问题 ，将旋转对称 1．旋转对称成象系统 (由旋转对称静 电透镜或 系统、电磁偏转系统、电磁多极系统和弯曲轴离 磁透镜掏成)的细束、宽束 电子光学 (研究 电子 子光学系统都纳入统一 的理论框架中 ，形成完 柬聚焦成象 ，几何象差和色差)，应用于 电子显 整 的普适的理论体系 ． 微镜与细束、宽束 电子器件．2．电磁偏转系统 2．发展了 电子和离子光 学的矩 阵 代 数 方 (由横亘于 电子束运动方向上 的偏转 电磁 场 组 法 ，运用复数或矢量描写轨迹 ，采用矩阵表示象 成)的扫描束 电子光学 (研究偏转扫描与偏转象 差．电子和离子通过存在象差的光学系统时可 差)，应用于扫描 电子显微镜和 电子束管 的偏转 以用变换矩阵来描写其传输性质 ，证 明了刘维 器．3，电磁多极系统 (由方位角方 向对称配置 定理成立 ． 由于采用了普遍的矩阵代数表述 的电极或磁极组成)的非旋转对称 电子光学 (研 方式 ，我们就可以把 电子和离子光学理论与仪 究聚焦散焦性质、束流传输与非旋转对称象差)， 器器件 的实际设计结合起来 ，从而适合于运用 应用于象差矫正器和束流传输系统． 4．能量一 现代 电子计算机辅助设计方法来解决 电子和离 质量分析系统(由不 同类型 电场 、磁场分析器构 子光学设计计算 问题 ，其 中包括计算 电场和磁 成)的弯曲轴 电子光学(研究质量分散 、能量分 场 ，计算带 电粒子在 电场和磁场中运动轨迹 ，计 敬及其象差)，直用于 电子和离子质谱仪、能谱 算 电子和离子光学系统 的光学性质和象差 ，计 仪 ． 算多透镜系统的光学性质和象差的传递，电子 作者从五十年代初开始从事 电子和离子光 和离子光学系统的最优化设计等． 学的研究，工作范围涉及上述各主要方面，着重 3．近年来扫描束 电子光学的最新发展集中 致力于研究电子和离子光学的象差． 大 家 知 在 电磁聚焦一偏转复合系统 的研究和应用方面 ． 道 ，由于不 同类型的电磁场具有不 同的光学性 1)本文介绍的研究成果于 l987年获第三次屋家宜 熟科 质 ，导致 了独特 的、形式 复杂 的电子离子光学象 学奖 四等奖． ·¨● ·