洁净室设计培训教程技术总结.ppt

2、室内出现大粒子问题 由于净化施工的周围环境十分恶劣。 a．施工前在地下室空间建立了一个100级的设备材料库房，其面积大约100m2把洁净室用的设备，配件和材料等存在100级的净化环境中保证进入洁净室的设备和材料的洁净度。 b．工人员要严格规范施工.质检人员和监理要经常监督检查 c．试时维持室内较大正压，调试人员要按规定更两次衣，两次吹淋方能进入 d．由于进度要求没有空态测试验收的时间（合同是空态验收），工艺设备就要进入洁净室进行二次配管配线和调试（进口设备），工艺设备的调试和二次配管配线又一次影响了洁净室内的洁净度，尤其是甲方坚持要提前安装并满布FFU；当时施工单位和我们主张，等最后清扫空吹后再装FFU。因为新风送进时已经达到100级的洁净度，能满足工艺设备调试的环境要求。但最终还是将FFU过早的装上了。这样就出现洁净厂房动态调试时0.1μm粒子合格.0.5 μm粒子为0个/ft3，而1 μm和5 μm的大粒子随机地不断出现。为此调试时间延长了一个多月来找大粒子产生的原因。 ? 因过早地安装FFU，为了省电，工艺设备调试时FFU部分开启，因上技术夹层为负压，就造成室内的空气通过不开启的FFU倒流到上夹层,部分灰尘?就沉积在超高过滤器的表面；调试时这样大 粒子会随机落下。 ? 洁净厂房内的通讯喇叭的纸盆不是洁净厂房专用，一振动也产生大量大粒子。 ? 工艺设备的配套件不是洁净厂房专用的设备。有些还带风机也会产生大量的大粒子。找到原因后采取必要的措施最后测试合格达标。 四、结果 最后我们和甲方联合请具有NEBB资格的新加坡（港思）快思特公司第三方进行测试结果…。 一级洁净室（0.5 μm）动态测试达到1级洁净室（0.3 μm）。 十级洁净室（0.5 μm）动态测试达到1级洁净室（0.5 μm）。 温度达到23℃±0.1℃。 相对温度达到50±3%。 在庆功会上甲方大老板唐翔千老先生（香港政务司长唐英年老爸）非常满意，诚恳地感谢我们和承包单位，并发了奖牌。 3.2.3 北京航天光学遥感特殊高大实验室矢流洁净室设计案例 实验室的工艺要求和设计难点 一、工程概况：光学遥感实验室总面积约32000 m2，净化级别有10000级和100000级有可变温度和相对温度的要求，有气流速度的要求，还有防微振的要求，更重要的还有个实验室之间使用灵活性的要求。 二、实验室属高大房间有吊车。第一，吊车钩的高度有10 m、8 m和5 m，既房间高度有14 m、12 m和8 m吊车分别为4T、2T;第二，实验时的室内温度要求是可变的 （8-25±1℃），有时为8℃、有时为15℃、有时为25℃，相对湿度要求在35-55%范围内。第三，工作面的风速不能超过 0.1 m/s第四，洁净度要求10000级和100000级，第五，有防微振要求。属高大房间变温恒湿净化和有风速和防微振要求的实验室。 三、设计中的难点和解决的办法 1、有吊车的高大房间净化空调气流流型是一大难题 房间高14 m宽24 m有吊车，如果采用顶送风、下回风的气流流型，气流难以达到工作区。工作区的温湿度和洁净度难以保证。而且体积大、送风量大、浪费能源。 经过慎重研究和有关专家的讨论，又经全院专家评审，该实验室的净化空调气流流型采用矢流。矢流气流有流线之间不交叉的特点，用较少的送风量可达到较高洁净度的效果，而且工作区都在射流范围内，其区域温湿度和洁净度容易保证。 3.1.10.3 联动调试 联动调试一般情况下分为两个阶段进行，即风量分配阶段和联动调试阶段。 一、风量分配 风量分配即将各个洁净室的送风量、回风量、新风量、排风量全部按设计要求调整到设计风量。因为一个洁净厂房可能有多个空调送风系统和排风系统，或一个空调送风系统要负担多个洁净室的送风。因此，风量分配调试工作是一项工作量大、时间长、耐心细致的工作。风量分配调试工作也是整个调试工作的重点工作。常用的风量分配调试方法采用标准风口法。 标准风口法：一个洁净室可能有几个、几十个空调送风口、回风口。因为它们之间都是相通的，当调整某一个风口送风的风量时其他送风口的风量也会跟其变化。因此，采用标准风口法。 所谓标准风口法，就是在风量分配之前，将所有阀门都开到最大的情况下，在所有的送风口这中找到最不利的送风口（送风量最小的送风口），将此风口作为标准风口。在标准风口上设一监测仪表，随时测试标准风口的风量变化。然后调整其它所有风口风量。因为调整任何一个风口风量时，都会影响已调整过的风口的风量的变化；因此，在调整任何一个风口风量时，都要以标准风口当时风量为参照风量，使所有被调风口的风量均随标准风口的风量变化而同步变化。 当一个净化空调系统负责多个洁净室空调时，调试要以洁净室为单位由末端向总干管方向进行，对各洁净室首先调整其送风