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王哲哲 等 ：Al()。感光薄膜 的制备及其微细图形化研究 文章编号 ：1001—9731(2014)12—12079—04 Al2O3感光薄膜的制备及其微细图形化研究 王哲哲 ，赵 高扬，林 林，冯卓宏，郑志强 (福建师范大学 物理与能源学院，福建省量子调控与新能源材料重点实验室 ，福州 350117) 摘 要： 提 出一种利用感光溶胶一凝胶法结合紫外光 合光刻获得凝胶薄膜微细 图形后再进行热处理 ，使凝 刻技术制备 AlO。微 细 图形 的方法 。以 Al(O—Sec— 胶薄膜 的微细 图形转变为所需 的无机薄膜 的微细 图 Bu)。为前驱物 ，I3一二酮类配体 H(C。H 。O )为化学修 形。这种方法的优势在于制备面积较大，周期可调，结 饰剂 ，合成 了稳定的、具有 良好感光性的含 Al金属螯 合光刻技术 可获得 分辨率 达纳米 级别 的微细 图 合物 ，进而制备 出相应 的感光薄膜。研究了薄膜 的紫 形 。 外和红外光谱特性及其在紫外光辐照条件下的变化过 2 实 验 程 ，结果表 明金属螯合物薄膜在 251，321和368nm处 各存在较强的紫外吸收峰。随着紫外光照时间的增 2．1 材料制备 加 ，吸收峰下降，AlO。／H薄膜表现 出明显的感光特 以异丁醇铝 (Al(O—Sec—Bu)。)为前驱物 ，以B一二酮 性 。结合 紫外光刻技术 ，可制备 出不 同形状尺 寸 的 类配体 H(c。H O )为化学修饰剂，异丙醇 (i-PrOH) Al2()。微细图形 ，其最小线宽可达 437nm。 为溶剂 ，在湿度小于 3O96／的手套箱 内将 A1(O—Sec— 关键词： AlO。薄膜 ；感光溶胶一凝胶 ；化学修饰 ；激 Bu)。和 H 混合搅拌 1～2min，加入溶剂 i-PrOH，继 光干涉 ；微细图形 续搅拌 2～3h至溶液完全澄清 ，最后再加入一滴盐酸 中图分类号： TB34；TB43 文献标识码 ：A 搅拌 ，静置 24h后待用。由于金属醇盐中的烷氧基 团 DOI：10．3969／i．issn．1001—9731．2014．12．0l5 具有强的电负性 ，在反应过程 中金属醇盐中的烷氧基 被 H 中的双酮基取代 ，形成一种具有光敏性质的六元 1 引 言 环化合物。最后溶液 中的有机基团在酸和水的作用下 AlO。是一种重要 的功能材料 ，具有非常宽 的光 发生一系列的水解和缩合反应 ，达到一种稳定的状态 ， 谱透明范围和高的介 电常数 、热导率及抗辐照损伤能 形成溶胶 。溶胶 中各组分 的摩 尔 比为 (A1(O—Sec— 力 ，在多个领域都有广泛的应用前景口]。尤其是在高 Bu)3) (H) (i—PrOH)一 1： 0．6：40。 亮 、大功率 GaN基 LED方面 ，AlO。是 目前应用最为 采用 自制的无级调速浸渍拉膜机分别在预先清洗 广泛的衬底之一 ]。然而 ，由于 A1O。和 GaN薄膜 过的硅片或石英基片上制备凝胶膜，硅基片制备 的凝 之间存在晶格失配和热失配 ，导致 GaN薄膜产生大量 胶膜用于红外光谱分析和 图形加工，石英基片制备的 的位错密度 ，从而降低了LED器件的可靠性和 内量子 凝胶膜用于紫外一可见光谱分析。 效率。 2．2 性能表征 最新研究表 明，将 A1。O。进行微细图形化加工可 采用紫外一可见光分光光度计 (JASCO：V一570)测 有效提高 LED的出光效率 ，因此得到了国内外众多研 试 Al：O。／H凝胶薄膜的紫外吸收光谱 ，分析光化学反 究机构 的重视l6]。然而 A1