压延铜箔用坯料的微观组织结构研究.pdfVIP

第44卷 第6期 有色金属加工 VO1．44 NO．6 2015年 l2月 N0NFERROUSMETALS PROCESSlNG December2015 压延铜箔用坯料的微观组织结构研究 徐继玲 ，于连生 (1．山东天和压延铜箔有限公司，山东 菏泽 274000；2．山东省电子压延铜箔工程实验室 ，山东 菏泽 274000) 摘 要：通过采用维氏硬度、拉力试验、金相 、XRD织构测试及 EBSD晶粒取向分布 ，对不同加工率下的高温短时间和低 温长时间软化退火的压延铜箔坯料，进行了机械性能及组织结构的研究。结果表明，两种制程的坯料在机械性能一致 的情况下，其内部组织结构存在差异；相同加工率下，高温短时间退火的坯料具有少的孪晶和强 的立方织构取向，且随 着软化退火前加工率的增加 ，立方织构强度增强；而低温长时间退火的坯料则具有较多的孪晶和多种弱的取向织构。 关键词：压延铜箔；坯料 ；织构；退火；加工率 中图分类号：TG146．11 文献标识码：A 文章编号：1671—6795(2015)06—0017—04 压延铜箔因其较 电解铜箔具有更高的强度及更 式有通过式退火和罩式退火，故本文针对不同加工率 低的表面粗糙度而逐渐在高端电子行业获得更多应 下、不同退火方式下压延铜箔用坯料的微观组织结构 用。国内压延铜箔的生产尚处于起步阶段，尤其对其 进行研究，以期对后续压延铜箔的生产起到一定的指 生产设备及生产技术的认知和掌握依然较浅，只是针 导作用。 对厚度控制、板型控制以及铜箔质量控制等 ¨进行了 1 试验 粗略研究和探讨，而轧制材料本身的研究却依然空 白。根据有关文献_2J，最终产品加工前的软化退火对 试样选用(cu+Ag)含量在99．95％以上的高纯 产品的生产及产品最终性能均会产生较大影响。由 无氧铜 TU2作为原材料，前序加工工艺相 同，半连 于金属屈服以后的流变也受晶体学结构和特征的控 铸一热轧一铣面一粗轧一中间退火一清洗一预精轧； 制，因而流变过程中的本构关系、疲劳、损伤和破坏均 分成4卷试样退火后进行铜箔成品轧制。退火样品 与织构有关 J。因工业生产压延铜箔坯料的退火方 的详细信息如表 1所示。 表 1 试验试样信息 Tab．1 Processparametersofsamples 室温拉伸试验在试金 WDW一10万能拉伸试验机 全 自动 x射线衍射仪进行材料的织构测试，采用的射 上进行 ，试验机夹头分离速度设定为 30mm／min，测试 线源为 CuKo~、电压 40kV、电流 40mA、扫描参数步长 材料的抗拉强度及延伸率；在泰明HDX—IO00TM硬度 5。、计数时问2s。X射线按 Schulz反射法测量材料的 仪上测定材料的维氏硬度；在蔡斯Observer．A1m金相 {111}{200}{220}三个面的不完整极 图，然后用级数 显微镜下观察试样 的金相；在 JEOLJSM6510扫描 电 展开法计算样品的ODF，由设备软件 自动取得织构类 镜下观察材料金相的表面形貌 ；在 BrukerD8Discover 型及强度；采用 Sirion200场发射高分辨扫描电镜及 收稿 日期 ：2015—05—18 作者简介：徐继玲 (1984一)，男，工程师，主要从事铜板带箔的生产技术研究。