垂直布里奇曼法生长CdZnTe晶体的径向溶质偏析之有限元分析法模拟.pdfVIP

王 焱 等 ：垂直布里奇曼法生长 CdZnTe晶体的径 向溶质偏析之有限元分析法模拟 垂直布里奇曼法生长 CdZnTe晶体的径向溶质偏析 之有限元分析法模拟 王 焱，闵嘉华，梁小燕，张继军 (上海大学 材料科学与工程学院，上海 200072) 摘 要 ： 运用有 限元分析软件 ComsolMuhiphys— let等 计算模拟 了 CZT—VBM (verticalbridgman ics，结合晶体生长固液界面曲率分析法，模拟 了垂直布 mehtod)晶体生长过程 的换热，G．Muller等 J开发 了 里奇曼法生长 cd](．。Zn0_lTe(CZT)晶体 。研究了固液 模拟 VBM 晶体生长过程的软件包 CryVUN4-+来辅 界面处曲率变化对于溶质径 向偏析的影响 ，揭示 了界 助运算。 面曲率与溶质偏析的 内在关联性，并计算 了数值 。分 ComsolMultiphysics这个软件 的优势就在于多 析 了3种晶体生长方式 ：(1)坩埚匀速生长；(2)两阶 物理场耦合 。多物理场 的本质就是偏微分方程组 段坩埚 变速生长；(3)坩埚 回熔 生长分 别对于溶质偏 (partialdifferentialequations)，所以只要是可以用偏 析的影 响。采用扫描 电子 显微镜 SEM 中的能谱仪 微分方程组描述的物理现像 ，COMSOL都能够很好地 EDX测量 3种工艺的Zn组分分布 ：(1)模拟值 比对实 计算 、模拟、仿真。软件 自带 了大量现成 的、标准的应 验结果发现可以运用固液界面的曲率平均值来推算溶 用模型，它们具体到一个物理过程 (比如传热)，或与一 质径 向组分偏差的大小；(2)模拟推算的溶质径 向偏 组方程有关 (比如 Navier—Stokes方程)。在定义一个 差值更加接近于实验所得 的溶质组分偏差最大值；(3) 几何结构之后 ，可 以简单地先选择一个应用模型，然后 坩埚 回熔生长法生长晶体 的固液界面的波动性 小，界 把材料属性和边界条件输入到图形用户界面的编辑区 面稳定性最好 ，溶质径向组分偏差也最小。 域。对于多物理场问题 的模拟 ，只需要简单地选择另 关键词 ： 材料科学基础学科 ；数值模拟；径 向溶质偏 外的应用模型，并通过几个简短的步骤将它们耦合至 析 ；曲率；回熔生长 已有的应用模型中即可 。 中图分类号 ： 064 文献标识码 ：A 垂直布里奇曼晶体生长过程中组分的径 向偏析是 文章编号：1001—973l(2011)11-2073—04 一 个棘手 的问题。因此一些学者对新的改进措施进行 了不断地探索 ，如外加合金源、施加 ACRT(加速坩埚 1 引 言 旋转技术)等 。S．Kaddeche等 计算 了垂直 Bridg— 近年来 ，碲锌镉探测器对高能辐射能量色散谱 ，如 man法晶体生长过程中与弯 曲固液界面相关的溶质径 x射线 、射线和其它非带 电粒子与带 电粒子的探测 向分凝 ，总结了在溶质扩散控制条件下，溶质径向分凝 能力有 了显著的提高。这种类型的探测器具有位置分 的解析表达式。刘等_l8用公式推导出了定向凝固过程 辨率好 、能量分辨率高、线性范围宽、响应时间快 、体积 中的溶质径向偏析 ，但 S．Kaddeche_7和刘 ]没有分析 小、结构简单、操作方便等优点。 晶体生长过程之 中，固液界面曲率 的变化情况 以及 由 数值模拟是一种较好 的辅助研究手段 ，可 以对实 于曲率变化对于溶质径向偏析的影响。也没有分析不 验数据和生长控制条件有