多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展.pdfVIP

多晶硅铸锭 中碳、氮、氧杂质特性的研究进展 ／谭 毅等 ·15 · 多晶硅铸锭 中碳 、氮、氧杂质特性 的研究进展 谭 毅 一，王 鹏 ，秦世强 ，姜大川 ，石 爽 ，李鹏廷 (1 大连理工大学材料科学与工程学院，大连 116024；2 大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室，大连 116024) 摘要 在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳、氮、氧杂质元素，这些杂质会形成沉淀、复合体等缺陷， 成为少数载流子的复合 中心，缩短硅的少子寿命，从而降低硅片的太阳能转换效率。因此控制和降低铸锭 中这 3种 杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义。阐述了碳、氮、氧元素的来源、分布，着重综述 了 铸锭 中3种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响，总结了降低 3种杂质元素含量的方法，指出了目前研究 的问题 ，并对铸锭 中这3种杂质元素的研究趋势进行了展望。 关键词 多晶硅铸锭 性能 杂质 形貌 控制 中图分类号：TB321；O77+5 文献标识码：A DOI：10．11896／i．issn．1005—023X 2015．021．003 ResearchProgressofPropertiesofCarbon，Nitrogen，OxygenImpurities in P0lycrystallineSilicon Ingots TAN Yi ，WANGPeng ，QIN Shiqiang ，JIANGDachuan ，SHIShuang ， LIPengting。 (1 SchoolofMaterialsScienceandEngineering，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024；2 KeyLaboratoryfor SolarEnergyPhotovoltaicSystem ofLiaoningProvince，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024) Abstract Theimpurityelements，suchascarbon，nitrogenandoxygen，canbeinevitablyintroducedintosili— coningottOform precipitations，complexesorotherdefectsduringcastingprocess．Thesedefectsbecometherecom— binationcentreoftheminoritycarriertOreducethelifetimeandconversionefficiencyofthewafers．Therefore，itisof greatsignificancetOcontrolandreducethecontentsoftheseimpuritiesinordertoimprovetheperformanceofthecast ingotandlowertheproductioncost．Theintroductionanddistributionoftheseimpuritiesareexpounded．Theexisting form ofimpuritiesanditsimpactto theperformanceoftheingotaredescribed emphatically．Thepresentresearch problemsarepointedoutbysummarizing thecurrentmethodsforcontrollingimpuritycontentsinsiliconingot．On thisbasis，thefutureresearchdirectionofthisfieldiSalsoproposed． Keywords polycrystallinesiliconingot，property，impurity，morphology，co