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太阳能电池用多晶硅晶界的EBSD研究／马会娜等 ·9 · 太 阳能 电池用多晶硅 晶界的EBSD研究 马会娜，张智慧，左玉婷 ，杜风贞，李继东 (北京有色金属研究总院分析测试技术研究所 ，北京 1OOO88) 摘要 利用电子背散射衍射(Electronbackscattereddiffraction，EBSD)对太阳能电池用多晶硅的晶界进行 了 研究。结果表明，太阳能电池用多晶硅 中的大部分晶界为大角度晶界，且以特殊晶界 3和普通晶界为主，同时还存 在少量小角度晶界。在制作太阳能电池用多晶硅时，重点要降低小角度晶界和Z3的含量。 关键词 太阳能电池 多晶硅 电子背散射衍射 晶界 三3 中图分类号：TGll5 文献标识码：A ElectronBackScatteredDiffractionStudyonGrainBoundariesinP0lycrystalline SiliconofSolarCells MA Huina，ZHANGZhihui，ZUOYuting，DUFengzhen，LIJidong (InstituteofAnalysisandTestingTechnology，GeneralResearchInstituteforNon-ferrousMetals，Beijing100088) Abstract Thegrainboundaryinpolycrystallinesiliconofsolarcellswasstudiedbyelectronbackscattereddif— fraction (EBSD)．Theresultsshow thatmostgrainboundariesobservedarelargeanglegrainboundaries．．23andcom— mongrainboundariesarethechiefoftheselargeanglegrainboundaries．Smallanglegrainboundarieswerealsoob— servedwithalow ratio．DecreasethecontentofsmallanglegrainboundariesandZ3inpreparingpolycrystallinesilicon ofsolarcellsistheemphasis． Keywords solarcells，polycrystallinesilicon，EBSD，grainboundary，Z3 依据，最终为太阳能电池用多晶硅的生产工艺改进提供有益 0 引言 的参考。 硅是一种 良好的半导体材料，其储量丰富，是地球上储 1 实验 存量第二大的元素，而且性能稳定、无毒，因此成为太阳能电 池研究开发、生产和应用中的主体材料 。多晶硅电池材料与 实验中所用的太阳能电池用多晶硅为高纯多晶硅，金属 单晶硅的主要区别是不同晶向的单晶晶粒间存在晶粒晶界。 杂质的含量都低于检测极限。选用厚度为 2ram 的高纯度太 这一缺点曾经阻碍了多晶硅电池的研制。从制作成本上看， 阳能多晶硅锭切片为实验材料。将切割好 的多晶硅片用 多晶硅太阳能电池比单晶硅太阳能电池便宜一些，材料制造 (HF)： (HNO。)一1：3的混合酸进行清洗，以去除切割 简便，节约电耗，总的生产成本较低，因此多晶硅太阳能电池 过程的机械损伤层，再用浓度为 10 的HF将硅片表面的氧 的竞争力近年来已经超越了单晶硅太阳能电池_】]。 化层去掉，然后用丙酮及去离子水清洗干净，最后进行电解 具有电子活性的晶界是影响多晶硅太阳能电池转换效