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3-DOF并联微纳操作器运动学分析.pdf
第 卷第 期 机 械 设 计
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并联微纳操作器运动学分析!
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嵇国金 !马奎 !王磊
! 同济大学电子与信息工程学院上海 # 同济大学中德学院上海 $
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摘要!作为一执行机构!微纳操作器是纳米操作系统的关键部件之一重点分析了 并联微纳操作器的运动
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学正解和逆解!推导出了运动学正解的雅可比矩阵依据微纳操作器的可操作空间最大化!对微纳操作器的雅可比矩阵
进行了分析分析结果对并联微纳机构的参数选择与设计具有一定的指导意义
关键词!纳米操作系统#并联微纳操作器#雅可比矩阵
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! #
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随着纳米技术% 技术%微光电子技术和生物医学的 高的微纳操作器是不合适的)这里采用柔性铰链对上述机构进
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不断发展它们的操作部件 微%纳米定位器%微纳操作器的 行了变异采用 %压电驱动的并联微动结构!图 $)移动
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研究越来越热其中以压电驱动的并联微纳操作器的研究尤为 副 以压电驱动控制方便)转动副 和球副 采用柔性铰链
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引人注目 ! )这种微纳操作器可达亚微米甚至纳米级的操作 一体式加工)该机构布置驱动部件方便结构紧凑)
精度)在纳米技术% 技术%微光电子技术%生物医学等领 建立如图 所示的固定坐标系 和动坐标系 )初
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