极化聚合物定向耦合型电光开关波导制备论文.pdfVIP

全阑第网届塑料光纤、聚合物光j。学会议论文集 极化聚合物定向耦合型电光开关波导制备 孙小强孙杰 高伟男 高磊陈长鸣张大明4 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 吉林大学电子科学与工程学院 长春130012) 摘要： 介绍了一种定向耦合型聚合物波导电光开关。利用溶胶．凝胶法合成了有机／无机杂化电光 材料，旋涂在长有Si02的Si衬底上。采用加载条形波导结构，利用环氧基紫外负性光刻胶SU．8制 备引导层波导，甲基丙稀酸甲酯．甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物PMMA．GMA作为上包层。通过湿法 刻蚀、电晕极化等工艺，制备了极化聚合物定向耦合型电光开关波导，并进行了光场测试。 关键词： 电光开关；定向耦合：SU．8：有机／无机杂化材料；聚合物波导 l引言 光开关器件具备速度快、消光比高、损耗低等优点，在现代通信技术中具有重要作用。聚合物 光电子器件以其独特的优势成为当前的研究热点之一，聚合物波导、聚合物光纤、聚合物极化等方 面的突破性进展，使聚合物光电子器件在光通讯领域显示出巨大的应用潜力‘1】【钔。 本文采用定向耦合型开关结构，用溶胶一凝胶方