高速钢表面多弧离子镀(Ti,Al)N薄膜及性能研究.pdfVIP

维普资讯 高速钢表面多弧离子镀 (Ti,AI)N薄膜及性能研究 金犁 。潘应君 (武汉科技大学 材料与冶金学院，湖北 武汉430081) 摘 要 ：采用多弧离子镀技术在Wl8Cr4V表面制备出(Ti，AI)N硬质薄膜 ，研 究了Al含量对 (Ti，AI)N 薄膜 的 形貌 、硬度 、膜基结合力、耐磨性、摩擦系数的影响。并利用扫描电镜、x射线衍射仪对薄膜进行了分析 。结果表明 Al含量在 25％左右的(Ti’A1)N薄膜硬度达到2780HV0．05，耐磨性好 ，摩擦系数仅为 0．168，且与钢基体结合 良 好 ．具有最佳的综合性能。 关键词 ：多弧离子镀 ；(Ti，AI)N薄膜 ；性能 中图分类号：TGI74．375 文献标识码 ：A 文章编号：1001—3814(2006)16—0059—03 PreparationandPropertiesoffTi,AI)NFilmsDepositedbyMulti-arcIonPlatingon High-speedSteel J1NLi．PANYing-jun (CollegeofMaterialand胍 ￡zu，g) Wuhan430081，China) Abstract：(Ti，AI)N super-hardfilmsweredepositedonW l8Cr4Vbymulti-racionplating，theeffectsofAlonhte composition，hradness，criticalnormalforce，wearresistanceandfrictioncoefficientof (Ti，AI)N filmswassystematical studied．Thenaturesof(Ti，AI)Nfiml swereanalysedbymenasofSEM ，XRDandEDS．Th eresultsshowhtat(Ti，AI)N fimlswillgainsuperiorpropertieswhenhtecontentsofAIatabout25％，andhtehrandessof (Ti，AI)N filmsreached 2780HV0．05，whilehtefrictioncoefficientis0．168wiht goodwera resisatnce，furthermorewiht agoodbindingability． Keywords：multi—raCionplating；(Ti，AI)Nfilms；properties TiN薄膜以其高硬度 、低摩擦系数 以及 良好 影响如何结论不一，极大地限制了该薄膜的应用。 的装饰性等特点在机械 、化工 、航空等领域得到广 本文采用多弧离子镀设备在 Wl8Cr4V钢表 泛的应用旧。但TiN薄膜在较高温度下 (550℃) 面制备不 同Al含量 的(Ti，A1)N 薄膜 ，研究 了Al 其化学稳定性变差 ，容易氧化成 TiO：。此外 ，高温 含量对薄膜性能的影响。 下依附在膜表面的其它元素也易向膜 内扩散导致 1 实验过程及方法 深层性能的下降。人们在工艺参数等方面进行 了 许多尝试 ，其中向TiN薄膜中添加 Al的方法取 1．1 (Ti,AI)N薄膜的制备 得了比较满意的结果。(TiA1)N薄膜具有很高的 沉积实验在 自制的DHD．8型多弧离子镀设 热稳定性和抗高温氧化性能，同时具有很高的硬 备上进行 、极 限真空度可达 l0 Pa，真空度 由 度和耐磨损性能 ，是一种理想的适合高温环境 的 ZJ10压强控制仪