d 型光纤传感器的飞秒激光加工方法 - 中南大学学报.pdf

第 46 卷第 12 期 中南大学学报( 自然科学版) Vol.46 No.12 2015 年 12 月 Journal of Central South University (Science and Technology) Dec. 2015 DOI: 10.11817/j.issn.1672-7207.2015.12.013 D 型光纤传感器的飞秒激光加工方法 邓旺，周剑英，孙小燕，银恺，罗志，谭超，周江夏子，段吉安 ( 中南大学 高性能复杂制造国家重点实验室，湖南 长沙，410083) 摘要：基于飞秒激光加工系统中二维 CCD 观测定位的轮廓线方法加工 D 型光纤，研究离焦量对飞秒激光轮廓线 加工质量的影响。研究结果表明：随着聚焦光斑焦平面从光纤的近物镜端逐渐深入光纤，D 型光纤加工面沿光传 播方向的轮廓倾斜度会变得越来越大。飞秒激光加工方法能够保证加工的一致性。加工的 D 型光纤有效长度为 200 μm ，从包层顶端到加工面的加工深度为 56.4 μm ，原子力显微镜测得纤芯附近加工表面粗糙度为 129 nm。将 加工好的 D 型光纤用于折射率为 1.36~1.42 的液体传感，测得其传输损耗随折射率线性增大，此D 型光纤传感器 的单位折射率的传感灵敏度为 37 dB 。本文的加工方法在提高效率的同时，能够保证D 型光纤的加工精度及传感 灵敏度。 关键词：飞秒激光；D 型光纤；轮廓线加工；离焦量；折射率传感 中图分类号：TN249 文献标志码：A 文章编号：1672−7207(2015)12−4476−05 Femtosecond laser micromachining of D-shape optical fiber sensor DENG Wang, ZHOU Jianying, SUN Xiaoyan, YIN Kai, LUO Zhi, TAN Chao, ZHOU Jiangxiazi, DUAN Ji’an (State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, Central South University, Changsha 410083, China) Abstract: A D-shape optical fiber sensor fabricated by profile-line method based on two-dimensional CCD observation in femtosecond laser micromachining system was proposed. Experiments were carried out to research the effect of defocus on the profile-line machining results. The results show that with the focus plane going deep into the fiber from the side close to objective, the profile-line slope of the machined surface of D-shap