飞秒激光烧蚀linbo3 晶体的形貌特征与机理研究3 - 超快光学实验室.pdf

第 56 卷 第 10 期 2007 年 10 月 物 　理 　学 　报 Vol. 56 ,No. 10 ,October ,2007 ( ) 10003290200756 10 582106 ACTA PHYSICA SINICA 2007 Chin. Phys. Soc. 飞秒激光烧蚀 LiNbO3 晶体的形貌特征与机理研究 余本海 　戴能利 　王 　英 　李玉华 　季玲玲 　郑启光 　陆培祥 (华中科技大学 武汉光电国家实验室激光科学与技术部 , 光电子科学与工程学院 ,武汉　430074) ( ) 2007 年 1 月4 日收到;2007 年 2 月4 日收到修改稿 　　采用了不同能量的单脉冲和多脉冲飞秒激光对 LiNbO3 晶体进行烧蚀 ,并刻蚀了表面衍射型光栅. 通过扫描电 镜和原子力显微镜观察了烧蚀点的形貌特征 ,首次发现利用单束飞秒激光脉冲对 LiNbO3 晶体烧蚀 ,可以得到超衍 射极限的烧蚀点 ,当聚焦光斑直径约为2 μ m 、能量为 170 nJ 的单脉冲飞秒激光作用时 ,烧蚀点的直径约为 400 nm , 100 nJ ,17 个脉冲作用时烧蚀点的直径约为 800 nm. 同时可以观察到在能量较低的多脉冲飞秒激光作用下 , LiNbO 3 晶体呈现出大约200 nm 周期性分布的波纹状结构. 实验结果表明 ,选择合适参数的飞秒激光脉冲可以对 LiNbO3 晶 体进行超衍射极限加工 ,这对于利用飞秒激光制作LiNbO3 基质的微纳光电子器件有十分重要的意义. 关键词 : 飞秒激光 , LiNbO 晶体 , 衍射极限 , 烧蚀阈值 3 PACC : 4255R , 4262A , 4265 秒激光对LiNbO3 晶体进行烧蚀 , 以 50 nJ 的单脉冲 1 引 言 μ μ 能量、300 ms 的速率、5 m 的线间距在LiNbO3 晶 体表面刻蚀了 2 mm ×2 mm 的表面衍射型光栅. 通过 近年来 ,利用飞秒激光的非线性效应对透明材 场发射扫描电镜和原子力显微镜观察了烧蚀点的形 料的烧蚀与改性研究受到极大关注[1 —9 ] ,并已经应 貌特征 ,首次发现利用单束飞秒激光作用透明晶体 用于制作光波导[10 ,11 ] 、光耦合[12 ] 、光存储[13 ] 等光电 材料 ,只要激光脉冲的能量和数量选择合适 ,都可以 子器件领域. 利用飞秒激光双光子微加工技术可以 得到小于衍射极限的烧蚀点. 本实验是直接利用单 在 SU8[14 ] ,Polymer[15 ] 等材料上进行超衍射极限加 束飞秒激光作用透明晶体材料实现超衍射