4—26高功率激光二极管封装工艺的稳定性.PDF

维普资讯 238中国工程物理研究院科技年报 制冷温度可以稳定在20K，这远低于12／超导转变温度，谐振腔的品质因数将比在液氮温 区有明显的提高。 用二流体模型和BCS理论对高温超导体的微波表面电阻进行分析，找出影响表面电 阻的因数。单畴YBCO块材在常温下属陶瓷材料，硬度很高，且易脆，导电率很低，用 块材加工腔体时，由于其层状结构，很容易纵向开裂，加工困难。实验中改用端面代替法 来测量YBCO块材的表面电阻。对于整个腔体的情况，可以通过公式计算得出。用G vI 制冷机对需要测试的腔体进行冷却，在没有负载(测试腔体)的情况下制冷机最低温度可以 达到14K，而有测试腔的情况下最低达到了48K，同时 100 I i I i { } } { 在制冷机的二级冷头外缠绕康铜丝，通过LAKESHORE l I - 公司的330-33温度控制器对测试腔的温度进行PID控n。70 ? i } } I { } } ； 制，从50-90K(93K以后YBCO块材失超了)每5K测 @60 1 } i j I 量腔体的Q值。在50K时大于5000，这个结果是在一 40 I ； } { f {～r 一 J ； 块高温超导体块材端壁下获得的，若整个空腔为高温超 30 I i ； 卜 ．-一 导体块材，则有 6～8倍的性能改善，可以达到4×104。 。 4o 8o 通过图1趋势可以看出，当温度在 20K时，Q值会更 图1{冁腔Q值_与测量温度关系 高，大于7xlO。在本实验中，当整个腔体都为无氧铜材料时，腔体的有载QL仅为1 0Xl03， ． 可见用高温超材料做微波谐振腔比无氧铜性能上有明显的提高。 4—26 高功率激光二极管封装工艺的稳定性 高松信 武德勇 吕文强 针对高功率二极管封装工艺中存在的问题，提出了工艺控制方法，提高了采用微电子 工艺研究中的统计过程控制技术 (SPC)。所谓 SPC技术的基本含义是：利用数理统计分 析理论，将连续采集的大量工艺参数数据转换成信息，以确认、改善、纠正工艺过程特性