TLH-3型LCD盒厚测量仪规格书 - 京城清达.DOC

目 录 概述 基本规格 各部分详细规格 出厂文件 选配附件 附图：TLH-5型LCD盒厚测量仪外形示意图 1．概述： TLH-5型LCD盒厚测量仪采用了旋转斜细光束的动量扫描法原理实现了在大面积超扭曲液晶(STN)显示器件的研究和生产过程中的盒厚测量。动量扫描法是通过改变光束入射角的方法实现的，将激光束经透镜聚焦后照射到液晶盒表面，激光器平移使光束入射角发生改变，得到反射光的一系列极大极小值，测量其光强值，根据极小值的位置可以求出对应的入射角，再经过计算得出盒厚值。 由于采用精细激光束，使测量的斑点极小(较其他光源比较而言)，这样可以消除由于盒厚的局部不均匀性引起的测量误差。 TLH-5型LCD盒厚测量仪具有高达0.01μm分辨率和0.02μm重复测量精度，从而为LCD-STN生产提供一台高精度盒厚测量仪。 TLH-5型LCD盒厚测量仪配置二维自动控制工作台，用户可予置测量的位置，从而实现了整板盒厚值的自动测量。 2．基本规格 2.1 基本组成 本仪器由框架、机座、X-Y工作台、测量头、计算机控制系统组成。其中测量头包括了激光器及激光电源、位移驱动部件、位移测量部件、干涉信号检测部件等几部分。计算机控制系统包括用户应用程序及三块计算机接口板。 2.2 主要技术指标 盒厚测量范围：2.5～30（μm）； 激光器位移范围：42mm； 可测板最大尺寸：16″×16″； 盒厚测量分辨率：≤0.01μm； 盒厚值重复性标准偏差：0.02μm； 工作台定位精度：≤±0.1mm。 2.3 设备尺寸及重量 外型尺寸（L×W×H）：约1260×1000×1210mm; 重量：约500kg; 工作高度：880mm。 2.4 使用环境： 环境温度：10℃～30℃； 环境湿度：20～70%； 电源电压：220V±10% 50HZ 3．各部分详细规格： 3.1 框架： 材料：50槽钢； 表面处理：喷塑； 脚板：优质脚轮，材质为玻纤增加尼龙； 地脚：减振地脚。 3.2 机座：铸铁 3.3 X-Y工作台： 工作台面尺寸：450×450 (mm) 工作台面材料：45#钢 导向机构：滚动导轨 传动机构：滚动丝杠 驱动方式：步进电机 3.4 测量头： 激光器及电源：氦氖激光器，激光器高压电源。 位移驱动部件：V型导轨，滑动丝杠，步进电机，皮带传动。 位移测量部件：长光栅传感器系统（最小分辨率1μm，准确度5μm）；信号整形及细分；位移及干涉信号采集单元。 干涉信号检测部件：聚焦成像系统，大镜头聚焦，小镜头成像，光强变化接收系统。 模数转换系统：A/D转换元件位数12 bit；转换时间25ms,系统误差小于0.1%。 计算机控制系统：本系统包括用户应用程序及三块计算机接口板。其中三块接口板 的功能如下：SMC-3（PC）三轴电机控制单元，用于控制三个步进电机；AD/DA 12位多功能板，用于将干涉信号的模拟量转换成数字量；位移及干涉信号采样控制单元，完成位移量的计数及光强变化的采集。 4．出厂文件 1）、操作说明书 1份 2）、电路汇编 1份 5．选配附件 比对盒 1 6．附图：TLH-5型LCD盒厚测量仪外形示意图 京城清达04-A0 TLH-5型LCD盒厚测量仪 3 京城清达04-A0 TLH-5型LCD盒厚测量仪 京城清达 THL-4型LCD盒厚测量仪 TLH-5型LCD盒厚测量仪 技术规格书