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课 程 论 文题目：有关微纳光电子制造的认识及解析 专业： 学号： 班级： 学生姓名： 论文完成日期：2015年12月16日摘要：微纳光电子技术是当今国际热点科学研究领域之一，本文首先介绍了目前主流的几类微纳光电材料以及响应器材，继而聚焦于了该领域的所开展的特色工作及其中主流材料的应用原理和剖析。关键词：二元光学；PS变换；微光学导光板；微光学平面集成相关器；低维半导体纳米材料。1前言目前，人类社会正在进入一个全新的信息化和网络化的时代。信息化社会的急速到来，既给作为信息科学技术支撑的微纳光电子技术的发展带来了新机遇，同时又对它们今后的发展提出了新的挑战。微纳光电子技术是当今国际上热点科学研究领域之一，在光电子器件日趋集成化和精密化的发展中担当非常重要的角色。它所研究的是在微纳尺度下光电子的运动传输特性、光电子与物质的相互作用规律、相关的操控及其应用技术等。本技术旨在基于现代微纳光学和电子学原理，挑战相关的、具有重要社会或经济价值的技术问题，包括微纳光电子材料技术以及微纳光电子器件的制造和诊断技术等。2主流的微纳光电材料的基本介绍1.1微纳发光材料和器材微纳发光材料主要采用微纳颗粒作为发光基质，包括纯的及掺杂的微纳半导体发光材料，稀土离子及过度金属离子掺杂的纳米氧化物、硫化物、复合氧化物、及各种微纳无机盐发光材料等。微纳发光材料主要用于各种微纳发光器件如微纳发光二极管或微纳激光器的设计及制备，它可以实现宏观块体材料所不具备的发光性质。 1.2 微纳光波导材料及器件微纳光纤是微纳光波导材料的典型代表。按照材料划分，微纳光纤可分为玻璃光纤（包括石英系玻璃光纤光纤、卤化物玻璃光纤及硫系玻璃光纤）、塑料光纤、晶体光纤等。? ? ? 微纳光纤器件包括光纤无源器件（分为光纤连接器、光纤耦合器、光隔离器、光波分复用器和解复用器、光开关、光衰减器、光纤光栅、光纤滤波器等）、光纤激光器、光纤放大器等。1.3微纳光探测材料及器件微纳光探测器件用于实现光信号的转换和检测，是光电信息系统的关键环节和技术，主要包括光敏电阻、光电二极管、光电池等器件。光敏电阻的主要材料包括微纳尺度的金属硫化物、硒化物和碲化物等。光电二极管的主要材料包括微纳尺度的硒、硅、锗等。光电池的材料主要包括微纳尺度的单晶硅、非晶硅、化合物、多晶硅等。1.4光子晶体及器件光子晶体是一种折射率在空间中呈周期性分布的物质结构，通常有两种及两种以上具有不同折射率的材料构成。光子晶体器件包括光子晶体光纤、光子晶体发光二极管、光子晶体激光器等。3 主流微纳光电材料应用，剖析及原理3.1微纳半波导材料微纳光波导的基本功能是实现光波的低损耗传输,是芯片光互连的基础,其传 输损耗是评价微纳光波导加工质量和传输性能的基本指标。微纳光波导由于其尺寸比常规光波导小1～2个数量级,光耦合的难度和不确定性都很大,造成传输损耗 的测量相对困难。探讨了可用于微纳光波导传输损耗测试表征的几种方法,包括截断法、法布里珀罗(Fabry-Pérot,F-P)腔谐振谱条纹对比度分析 法、傅里叶(Fourier)变换法等,对上述方法在测试精度、适用条件方面进行了分析对比。研究表明,截断法受光纤耦合不确定性的影响测量误差较大;F P腔谐振谱条纹对比度分析法能够消除光纤耦合不确定带来的误差,但是只能测量单一F-P谐振腔的波导结构,无法测量复杂的多腔结构;傅里叶变换法能够消除 波导和光纤耦合状态的不固定带来的误差,并通过相邻峰位的比值来提取出波导的传输损耗。3.2 微纳光探测材料族量子阱红外探测器(QWIP)、雪崩光电探测器(APD)