结构解耦的双质量微陀螺仪结构方案设计与仿真 - 东南大学学报.pdfVIP

３８ ５ Ｖｏｌ３８Ｎｏ５ 第 卷第 期 东南大学学报（自然科学版） 　 ２００８ ９ 　 Ｓｅｐｔ．２００８ 年 月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　　　　　　 结构解耦的双质量微陀螺仪结构方案设计与仿真 　 　 　 　 　 殷 勇 王寿荣 王存超 盛 平 （ ， ２１００９６） 东南大学仪器科学与工程学院 南京 ： ， 摘要 为了解决双线振动双质量微机械陀螺驱动和检测模态耦合的问题 提出了一种新的双质 ， 量双线振动式微机械陀螺仪结构方案 并对驱动和检测梳齿的电容布置以及梁的结构形式进行 ． ， ， 了设计 根据微陀螺的结构和工作原理 对该陀螺的驱动和检测模态进行了理论分析 给出了简 ， ＡＮＳＹＳ ， ． 化的动力学方程 并利用 有限元分析软件进行了数值仿真 以验证设计思想的正确性 ， ． 仿真结果表明 双质量块和折叠梁的设计使该微陀螺能够实现驱动和检测模态的完全解耦 在仿 ， 真验证的基础上 通过调节结构参数实现了陀螺驱动模态与敏感模态固有频率的匹配及其与干 ．２ ， 扰模态的隔离 个质量块的差动输出能够有效减小共模信号的干扰 变面积式的梳齿电容布置 ． 方式能使微陀螺在空气下的模态品质因数显著提高 该结构设计方案能使微陀螺的整体性能得 ， ． 到提高 达到了理想的设计目的 ： ； ；ＡＮＳＹＳ 关键词 结构解耦 微机械陀螺 仿真 中图分类号：Ｕ６６６１２　　文献标识码：Ａ　　文章编号：１００１－０５０５（２００８）０５０９１８０５ Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｓｃｈｅｍｅｄｅｓｉｇｎａｎｄｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄｅｃｏｕｐｌｅｄ ｄｕａｌｍａｓｓＭＥＭＳｇｙｒｏｓｃｏｐｅ ＹｉｎＹｏｎｇ　 ＷａｎｇＳｈｏｕｒｏｎｇ　 ＷａｎｇＣｕｎｃｈａｏ　ＳｈｅｎｇＰｉｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＡｎｅｗｄｕａｌｍａｓｓｄｅｃｏｕｐｌｅｄｄｏｕｂｌｅｌｉｎｅａｒｖｉｂｒａｔｉｏｎａｌＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓ ｔｅｍ）ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄｔｏｓｏｌｖｅｔｈｅｄｅｃｏｕｐｌｉｎｇｐｒｏｂｌｅｍｏｆｔｈｅｄｒｉｖｉｎｇｍｏｄｅａｎｄｓｅｎｓｉｎｇｍｏｄｅ ｏｆｔｈｅｇｙｒｏｓｃｏｐｅ．Ｔｈｅｃｏｍｂｃａｐａｃｉｔａ