薄膜及其性能研究进展-无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 薄膜及其性 能研 究进展 黄众球 , 刘梅冬 , 曾亦可 , 刘少波 华 中科 技 大 学 电子 科 学与技 术 系, 武汉 、 、 、 , 、 摘 要 薄膜是 一种具有优 良的压 电 光 电 气敏 压敏等性质的材料 在透 明导体 发 光元 、 太 阳 池 口 料 、 光 导器 、 单色场发 显示 器 、 压 电转换器 、 表面 件 能 电 窗 材 波 射 材料 高频 声 波元件 、 微传感器 以及低压压敏 电阻器等方面 具有广泛 的用途 薄膜 的制备方法 多样 , 各具优缺点, 而薄膜性质的差异则取决于不 同的掺杂组分 , 并与制备工 艺紧密相关 本文综述 了 薄膜 的制备及性质特征 , 并对其发展趋势及前景进行 了探讨 关 扭 词 薄膜 , 制备 , 性质 , 发展前景 中图分类号 文献标识码 引言 薄膜是 一种具有广泛用途 的材料 , 其性 质 随掺杂组分和 制备条件 的不 同而 表 现 出 很大 的差异性 目前对 薄膜 的研 究主要 集 中在透 明导 电性 、 压 电性 、 光 电性 、 气敏性 、