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最新半导体器件测试技术 与Keithley解决方案分享 CN AE team 201609 目录 • 测量测试技术浅谈 ◦ 时间与精度 ◦ 负载与反馈 ◦ 2线与4线 ◦ 同轴与三轴 ◦ 直流与脉冲 ◦ 阻抗与电容 • 吉时利产品半导体测试应用举例及分析 ◦ 半导体器件特性测量 ◦ 功率半导体器件测量 QA 2 测试测量技术浅谈 3 半导体器件测试的三种基本测试类型 要完全理解任何器件、材料或工艺特性,你需要三种方式的测量: • 精密DC I-V • 超快的电流-电压(脉冲/瞬态) • 多频C-V(交流阻抗) 直流 （DC ）I-V特性测量 ：精准测量 • DC I-V 测量是器件及材料特性测量的 最基本测试手段 5 直流测试的理想测试设备SMU ：  通过SMU 可以让您同时给被测器件激励并 同时测量, 一台4200可集成２~ ９块SMU单 元 Keithley SMU 选型指南 2400 SourceMeter SMU Instruments • Family of single-channel models with I-V capability from 1100V to 100nV and 10.5A pulse to 1pA • Smart alternative to separate Power Supplies and Digital Multimeters (DMMs) • Convenient DMM-like user interface 2450 2460 Touchscreen SourceMeter SMU Instruments Industry-first 5” color capacitive touchscreen GUI Test up to 200V and 1A (2450) or up to 100 V and 7A (2460) Sub pA and sub µV resolution 2600B System SourceMeter SMU Instruments • Family of dual- or single-channel models with I-V capability from 10A pulse to 0.1fA and 200V to 100nV • TSP® (Test Script Processor) technology for best-in-class throughput and lowest cost of test • Browser-based GUI enables testing on any PC from anywhere in the world 2650A Hi-Power System SourceMeter SMU Instruments • Source and measure