先进制造技术课件第二章精密加工.docVIP

先进制造技术课件第二章精密加工 第二章 精密与超精密加工技术 一．概述 二．超精密切削加工技术 三．超精密磨削技术 四．超精密研磨抛光技术 沈剑云 五．超精密加工装备与环境 机电及自动化学院 Advanced Mannufaccturring Teechnollogyy Advaancedd Manufacttuuring TTechnoologgy 一、概述 一、概述 精密和超精密加工技术的发展是从上世纪70年代 加工精度进化 开始，主要集中在美、日、英等国，精密和超精 密加工在尖端技术和现代武器制造中占非常重要 的地位，是机械制造业最主要发展的方向之一。 精密和超精密加工技术在提高机电产品的性能、 质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并 且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。 当代的超精密加工技术是现代制造技术的前沿， 也是明天制造技术的基础。超精密加工是国家制 造工业水平的重要标志之一。 Advanced Mannufaccturring Teechnollogyy Advaancedd Manufacttuuring TTechnoologgy 一、概述 一、概述 机械工业提高加工精度的效益 飞机制造—减重 提高制造精度后可提高产品的性能 和质量，提高其稳定性和可靠性； 促进产品的小型化； 增强零件的互换性，提高装配生产 率，并促进自动化装配。 Advanced Mannufaccturring Teechnollogyy Advaancedd Manufacttuuring TTechnoologgy 一、概述 一、概述 激光陀螺仪，导弹精确打击的眼睛 人造卫星的仪表轴承是真空无润滑轴承，轴和孔的表面反射镜平面度：0.03~0.06μm，表面粗糙度在0.012μm以下。 粗糙度为1nm，圆度和圆柱度也均以nm为单位。 雷达的关键元件波导管的品质因数与内表面粗糙度有很 大关系。超精密车削保证其加工表面及精度要求 Advanced Mannufaccturring Teechnollogyy Advaancedd Manufacttuuring TTechnoologgy 一、概述 一、概述 飞机发动机转子叶片加工技术 哈勃望远镜（HIT计划）： 加工精度由60μm提高到12μm 压缩效率从 直径：2.4m，重900Kg； 表面粗糙度由0.5μm减少到0.2μm 89%提高到94% 形状精度：0.01 μm 传动齿轮的齿形和齿距误 六轴CNC研磨加工 齿轮箱传递扭 差从3-6μm降低到1μm 矩增加一倍 Advanced Mannufaccturring Teechnollogyy Advaancedd Manufacttuuring TTechnoologgy 一、概述 一、概述 大规模集成电路制造： 大规模集成电路的发展，促进了微细加工工程的发展， 并且密切依赖于微细工程的发展。因为集成电路的发展 容纳更多的电子元件，以形成功能复杂的和完备的电路。 因此，提高超精密加工水平以减小电路微细图案的最小 狮子座螺旋星系 线条宽度就成了提高集成电路集成度的技术关键。 服役的哈勃望远镜 Advanced Mannufaccturring Teechnollogyy Advaancedd Manufacttuuring TTechnoologgy 一、概述 一、概述 线宽的研究进展 日本高技术探索研究项目（EARTO）：20nm 美1国0国防部的甚高速集成电路项目（VHSIC）：线宽减 英国利用电子束加工技术：30nm 45nm芯片 Advanced Mannufaccturring Teechnollogyy Advaancedd Manufacttuuring TTechnoologgy 一、概述 一、概述 在不同的历史时期，不同的科学技术发展水平情 况下，对精密与超精密加工技术有不同的理解。 精密和超精密加工是一个十分广泛的领域，它包括了所 有能使零件的形状、位置和尺寸精度达到微米和亚微米 范围的机械加工方法。 精密和超精密只是相对而言，