LIGA工艺基础及其发展趋势.pdfVIP

与开发 (2)LIGA技术工艺流程 x射线掩模板不同于普通的光刻版，传递到光刻胶中 LIGA加工技术共有4个工艺组成部分：LIGA掩模板 的结构信息是由吸收体的结构 (光刻版图形)决定的，即 的制造工艺；X光深层光刻工艺；微电铸工艺；微复制工 吸收体的结构能屏蔽光刻胶的特定部分，使其免受X射线 艺。其工艺流程图如图2所示 c5]。 辐射。在通常的紫外线光学光刻中，只要有0．1mm厚的Cr 膜做吸收体就足够了，而X射线光刻的吸收体必须由对特 定波长范围的x射线辐射具有高吸收率的物质构成。原子 同步辐射光线 量大的物质常被用作X射线曝光的吸收体如Au。要得到 实施LIGA工艺所需的X射线吸收的最大合适值，Au吸收