微电子研究所发光发热 - 成大电机资讯学院EECS - 成功大学.PDF

未 來 微電子研究所發光發熱 展 張守進 半導體研究中心主任 成大電機系 72 級 望 篇 成大電資學院微電子工程研究所張守進教 造成元件電性上之退化。此法簡單、易於製造且 授，擁有將近二十年教學經驗，研究成績相當豐 幾乎不增加成本，目前也與晶元光電等公司洽談 厚，並在理工領域的學門中，特別重視科研論文 技術移轉。此外在GaN系列發光二極體的抗靜電 的學術品質，近五年論文數篇數高達329篇、皆有 (ESD)特性方面亦已獲致世界級的水準。張守進 很高的論文被引次數與最高被引用數。並且由張 教授除致力於發光二極體的研究之外，在光檢測 守進教授所指導博士班學生高達100位，碩士班 器研製方面也有相當優異的成果。截至目前為 學生也超過200位，師資結構與規模相當完整， 止，已發表GaN 系列紫外光檢測器相關論文100 張守進教授研究方向主要分為：GaN系列光電元 篇以上，並將基板圖案化應用在GaN 系列紫外 件、二六族化合物奈米元件(ZnO, ZnSe, Ga2O3 奈 光檢測器。目前所研製出的GaN 系列紫外光檢 米線)、SiGe元件、面射型雷射(VCSEL)與分佈布拉 測器在響應度及雜訊抑制方面，均已達到世界ㄧ 格反射器(DBR)、並且近年開發四元InAlGaN之磊 流水準。目前相關成果亦與晶元光電合作即將進 晶成長與光電元件，皆擁有相當不錯的成績。因 入量產。 此，目前由張守進教授的努力下將電資學院下的 奈米元件氣體感測器 微電子工程研究所，創造出未來的榮景。 張守進教授於2007年所發表Highly sensitive 壹、最具代表性著作重要成果概述 ZnO nanowire ethanol sensor with Pd adsorption, GaN系列光電元件 Appl. Phys. Lett 論文期刊中提出以一維奈米結 構，製作出各種感測器。目前已成功製作出ZnO 張守進教授於2009年所發表Nitride-based 奈米線的紫外光感測器、氣體感測器、壓力感測 LEDs with phosphoric acid etched undercut 器、溼度感測器等各種感測元件。值得ㄧ提的