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无源光开关MEMS 微镜 - 无锡微奥科技有限公司
无锡微奥科技有限公司
无锡新区长江路16 号软件园8905 室
电话：0510传真：0510808
Web ： Email:wiotek@
无源光开关MEMS 微镜
一、产品名称：无源光开关MEMS 微镜
二、主要特征
小尺寸
大镜面
高反射
精度高
双向阻挡结构
三、产品应用
该芯片是通过MEMS 工艺制作出来无源MEMS 微镜，采用外部永磁体控制，驱动臂在外部磁场带动微
镜镜面发生偏转，并伴有双向角度阻挡设计，可实现固定角度偏转。适用于矿井等危险地段的光路控制，
安全可靠。
该芯片采用晶圆级封装，驱动磁场通量密度小于100mT，芯片偏转角度为±2°/±2.2°/±2.4°，
根据Telcordia 1209 1221，通过可靠性测试。
四、性能参数
参数 性能
镜面尺寸 1mm ×1mm
微镜尺寸 3mm ×2.2mm
镜面反射 96%(800nm-1600nm)
偏转角度 ±2°/ ±2.2 °/ ±2.4 °
精度 0.05 °
重复性 1Billion
谐振频率 1KHz
驱动磁场 30~100mT
工作温度 -5-75℃
封装尺寸 可选
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无锡微奥科技有限公司
无锡新区长江路16 号软件园8905 室
电话：0510传真：0510808
Web ： Email:wiotek@
引脚说明：无引脚。
封装：晶圆级封装。
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