聚轻基苯乙烯在光致抗蚀剂中的应用及其合成-影像科学与光化学.PDF

光 学 与 光 化 学 第 卷 第 期 感 科 月 年 段 ‘‘产产 应应用与 展 发 , 叫 , 叫、 , , , , 、、 一 , 勺 ,, 聚 基 乙烯 光 抗 剂 轻 苯 在 致 中的 应用 其 成 及 合 , , 平 刘建国 家栗 李 郑 , 华中科技大学 化学系 湖北 武汉 乙 要 主 综 了 舟 苯 用 深 致 剂主 成 脂的 摘 要 述 聚 基 烯 作 紫外光 抗 体 膜树 发展 历 、 应用 以 一些 新 的 究 , 简 绍 了 舟 苯 乙 的 程 现状 及 最 研 进展 并 要介 聚 基 烯 单体 生物 物的制 方法 衍 及其聚合 备 乙 在 苯 深 光致 剂 主 成 脂 关 健 词 聚 基 烯 紫外 杭 体 膜树 一 一 一 文 编号 图 文 识码 章 中 分类号 汤 献标 引言