能迅速且正确锁定缺陷点的“CAD导航系统”.PDF

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2017-07-03 发布于天津
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能迅速且正确锁定缺陷点的“CAD导航系统”.PDF

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能迅速且正确锁定缺陷点的“CAD导航系统”

与LSI故障解析用观察修复设备及设计CAD数据紧密连接！高速CAD导航系统 R NASFA (NAvigation System for Failure analysis) 能迅速且正确锁定缺陷点的 “CAD导航系统” NB5000 URL:www.astron.co.jp Email: sales@astron.co.jp 1 前言・为什么解析需要CAD导航？ - 在高集成LSI及重复的图形中,用目测锁定位置需要花很多时间, 或者根本无法锁定。 - 为指示出测定位置,需要花很多的时间做相关的资料。通过活用CAD数据可以解决该问题！ ASTRON Confidential / Proprietary 2 使用CAD导航的优势・ CAD数据（设计数据）和各解析设备的Stage互动, 任何人都可以简单地找到可能存在故障的地方。・可以从CAD数据追踪电位节点,缩小缺陷范围目标。・通过SEM/SIM像和CAD数据重叠显示可确认下层布线、提高加工时间的Throughput。大幅度缩短解析时间 Linkage CAD 数据 SEM、FIB、Prober、FIB-SEM ASTRON Confidential / Proprietary 3 NASFA概要・ NAvigation System for Failure Analysis ・和瑞萨科技公司开始共同开发・应用在日立高科的故障解析/修复设备上 Prober ・日立微小元器件特性评价设备纳米探针、nanoEBAC 「N-6000」、「NE4000」 FIB ・日立聚焦离子束加工观察设备「FB-2100」「FB2200」 SEM ・日立高精度场发射扫描电子显微镜「S-4700」「S-4800」 FIB-SEM ・日立聚焦离子/电子束加工观察设备 nanoDUE‘T® 「NB5000」其他、也可集成在Emission Microscope （PHEMOS 系列）上！ ASTRON Confidential / Proprietary 4 NASFA系统构成设备 (SEM、FIB、Prober） NASFA PC ：Windows WS ：SUN_Solaris / RedHatLinux EtherNet/RS232C ASTRON Confidential / Proprietary 5 应用NASFA的例子