基于免形状测量模式的复杂形状测量机设计.pdfVIP

第33卷 第6期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．33No．6 2012年6月 ChineseJournalofScientificInstrument Jun．2012 基于免形状测量模式的复杂形状测量机设计 石照耀，张 斌，林家春 (北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 北京 100124) 摘 要：为了高精度高效率地测量数学模型未知的复杂几何形状，介绍了 “免形状测量模式”，分析了该测量模式对仪器的基本 要求 ，基于该模式设计了一台移动工作台式测量机。测量机以直线电机为驱动元件 ，以高精度长光栅为测量元件。为减小被测 件重量对测量机的影响，设计了封闭式真空负压的空气静压气浮导轨和共平面的H形二维结构。设计了具有制动功能的Z轴 和气浮隔振等关键部件。仪器量程为300mm×300mm×300mm，测量不确定度为 1．8p,m，能测量数学模型未知的复杂几何形 状。 关键词：免形状测量 ；气浮导轨；共平面结构 ；直线电机 中图分类号：TB92 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4030 Design ofmeasuringmachineforcomplexgeometry based on ofrm ．freemeasurementmode ShiZhaoyao，ZhangBin，LinJiachun (CollegeofMechanicalEngineeringandAppliedElectronicsTechnology，BeijingUniversityofTechnology，Beijing100124，China) Abstract：Tomeasurecomplexgeometrieswithoutnominalmathematicsmodels．a “form-freemeasurementmode”is introduced，and itsbasicrequirementsofrmeasuringmachineareanalyzed．A fixedcolumn structurecoordinate measuringmachinewithhighaccuracyandefficiencywasdesignedbasedonthenovelmode．Themachineisdriven bylinearmotors，andhighaccuracygratingsraeusedasmeasurementdevices．Todecreasetheinfluenceofwork- pieceweight，aclosedaerostaticbearingwithvacuum preloadandanH styletwodimensionalCO-planarstructureare designed．A pneumaticcylinderbalancedaxisZ assemblywithbrakefunctionisdesigned，andavibrationisolation assemblyisalsodesigned．Themeasurementspanofthemachineis300mm ×300mm ×300mm andthemeasure— mentuncertaintyis1．8LLm．Itcanbeappliedtomeasurecomplexgeometrieswithoutnominalmathematicsmodels． Keywords：ofmr —freemeasurement；aerostaticberaing；CO—planarstructure；linearmotor 传统测量模式要求知道被测对象的名义几何模型和 1 引 言 设计参数，测量仪器的设定也依赖于这些模型和参数 ； 反求工程的测量过程虽不依赖于被