清华大学奈米与微系统科技中心 - 奈材中心 - 国立清华大学.docVIP

清華大學 奈與科技中心 報名地點：清華大學 工程三館實驗訓練課程2. 課程內容完整： 技術訓練課程： 加強受訓者之無塵室奈米與微製程相關知識基礎技能實驗訓練課程包括P- Channel Metal Oxde Semiconductor (PMOS)製程影帶教學，並實地訓練 3. 課程方案彈性：目前課程規劃含以下三種方案，受訓者可依自身情況做選擇。 「技術訓練課程」+「實驗訓練課程」 單修「實驗訓練課程」(修習過附件一課程者，可免上本「」，直接報名參加「」，結訓後，始能申請製程技術機台儀器訓練修習過，則申請製程技術機台儀器訓練可直接申請參加NDL製程技術機台儀器訓練，而無需參加NDL之「SM01」及「SM01-1」課程。 101年02月13日（一） 08：00 ～ 12：00 岑 尚 仁 化學氣相沉積製程CVD） 101年02月13日（一） 13：00 ～ 18：00 林俊榮 微影暨接合製程 08：00 ～ 12：00 岑 尚 仁 蝕刻製程 101年02月14日（二） 13：00 ～ 18：00 連 羿 韋 擴散製程 101年02月15日（三） 08：00 ～ 12：00 岑 尚 仁 物理氣相沉積製程PVD） 101年02月15日（三） 13：00 ～ 18：00 李 薇 妮 二、實驗訓練課程 實 驗 名 稱 日 期 時 間 授課講員 PMOS製程 影帶觀摩與解說 101年02月16日（四） 9：30～12：00 中心研究助理(實地解說及影帶觀摩) 標準清洗 101年02月16日（四） 14：00～18：00 張瀞文 曾昱承 吳若穎 物理氣相沉積實驗 101年02月16日（四） 郭文鳳 微影製程 101年02月17日（五） 09：00～12：00 曾昱承 吳若穎 化學氣相沉積實驗 101年02月17日（五） 張瀞文 郭文鳳 無塵室機台介紹影片 101年02月17日（五） 14：00～15：00 曾昱承 考試 101年02月17日（五） 15：30～17：30 劉湘雅 三、費用 四校（清、交、中央、陽明） 學界 業界 注意事項 方案一 技術訓練課程+實驗訓練課程 5,000元/人 5,500元/人 8,500元/人 同一實驗室或公司2人以上報名者，每人各減500元。 方案二 實驗訓練課程 2,000元/人 2,500元/人 5,500元/人 需修習過課程本課程若未滿報名表收件截止日：年月日（額滿即提前截止） 五、報名與繳費辦法 填寫報名表，請單位主管或指導教授簽名，送至本中心。 由於名額有限，請務必在繳交報名表時，同時完成繳費（以現金方式7天內（含假日）取消報名者概不退費，其餘酌收1/4報名費為行政處理費。故在報名時，請務必審慎考量，斟酌行事。 六、聯絡方式 聯絡人：劉湘雅小姐 電話：(03) 574-2267 傳真：(03) 5713-484 E-mail：syliou@mx.nthu.edu.tw 附件一 (99.6.30修訂版)修習過以下課程者，可免上本「」，直接報名參加「」，結訓後，始能申請製程技術機台儀器訓練開課單位 課程名稱 ()國立交通大學材料所 半導體製程、微電子積體電路製程 (2)國立交通大學光電系所 半導體物理與技術(一、二)、半導體物理、半導體元件及物理、微元件光學、光電子學(一、二) (3)國立交通大學工學院 半導體製造技術導論 (4)國立交通大學奈米科技所 奈米製造與量測技術 (5)國立交通大學機械系 微機電製程實驗 (6)國立清華大學電機系所 微電子工程 (7)國立清華大學工科系 半導體製程 (8)國立清華大學材料所 MS5560000奈米電子(Nanoelectronics)、MS437000、MS414100MS540400 半導體製程 (9)國立清華大學微機電系統工程研究所 微系統技術與實驗 NEMS510000) (10)國立清華大學電機(子)所 微電子工程(ENE5310ENE5320) (11)國立成功大學 VLSI製程概論班 (12)國立成功大學航太系所 微機電製造技術 (13)國立成功大學電機系 VLSI製程概論、超大型積體電路半導體製程實習 (14)國立成功大學電機所/微電子所 超大型積體電路工程 (15)元智大學化工系 半導體製程(含實驗) (16)國立中央大學光電所 光電半導體物理與元件 (17)國立中正大學化工系 半導體製程技術 (18)國立中山大學大學物理學系 半導體奈米元件製造技術 (19)中原大學電子工程學系 ULSI製程技術 (20)國立中興大學電機工程學系 超大型積體電路尖端製造技術 (21)自強工業科學基金會 積體電