微机电系统概论 - 国立勤益科技大学.docVIP

國立勤益科技大學 冷凍空調與能源系 日間部 研究所 九十八 學年度 下學期 教學內容綱要 第一部份 科目名稱： 課程資料： （一）開課學校系所：冷凍空調與能源系碩士班 （二）授課教師姓名：駱文傑 （三）授課教師學歷：博士 （四）授課教師現職：教授（五）授課教師經歷： （六）聯絡方式：8255 課程介紹： （一）教學目標： （二）授課時數：（三）學分數： （四）評量方式：（五）教學對象： （六）先備知識： 授課方式： 學習經營計畫： （一）討論方式： （二）作業繳交方式： （三）線上參考資訊： （四）補充教材： (五) 推薦書目： 其他說明：（學生上課所需最低硬體需求或需額外安裝軟體） 開課年級 開課學期 預修課程 科目名稱 選修 3 /3 授課教師 優質課程 （）0.一般課程、2.智慧財產權、2.性別平等、3.融滲式服務學習課程、4.創新、創意課程、 5.綠色課程（環境教育或永續發展教育相關課程）、6.工作（職場）倫理課程。 教 科 書 參 考 書 評量方式 出席()作業()期中考()期末考() 內 容 綱 要 課程摘要 教學單元 National Chin-Yi University of Technology Refrigeration Air Conditioning and Energy Engineering Department Year of Syllabus(four-year program) Year 1 Semester Fall Pre-taking Course Course MEMS and Microsystems Required Optional optional 3/3 Instructor Win-Jet Luo Textbook MEMS ＆ MICROSYSTEMS Design and Manufacture Reference MEMS Scoring Participation (10%) Homework(20%) Mid-term (30%) Final exam (40% ) Syllabus .1. Overview of MEMS and Microsystems 2. Principles of Microsystems 3. Thermofluid Engineering and Microsystem Design 4. Materials for MEMS and Microsystems 5. Microsystems Fabrication Processes 6. Overview of Micromanufacturing 第三部份 課程進度與內容 （授課進度表） 週次 上課日期 教 學 與 作 業 進 度 備註 1 2 微系統架構 3 微系統技術之應用 4 層技術 5 層技術 6 薄膜技術 7 薄膜技術 8 微機械學 9 期中考 10 積體光學 11 流體技術 12 流體技術 13 LIGA 技術 14 LIGA 技術 15 微致動器 16 微感學器 17 MST及資訊處理 18 期末考 請遵守智慧財產權觀念，不得非法影印 Hour Credit 學時數 學分數